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CVD fourneau

1600C CVD four avec système d'alimentation en gaz et système de vide

1600C CVD four avec système d'alimentation en gaz et système de vide

  • Numéro darticle:

    TMAX-1600PECVD
  • Paiement:

    L/C, T/T, Western Union, Credit Cards, Paypal
  • Port dexpédition:

    Xiamen Port
  • Délai de mise en œuvre:

    5 Days
  • certificat :

    CE, IOS, ROHS, SGS, UL Certificate
  • garantie :

    Two years limited warranty with lifetime technical support
détails du produit

1600C PECVD four avec système d'alimentation en gaz et système de vide


Le PECVD Le système se compose d'un four tubulaire, d'une chambre à vide en quartz, d'un système de vide, d'un système d'alimentation en gaz et d'un système d'alimentation à radiofréquence. principalement utilisé pour: croissance de films minces métalliques, de films minces céramiques, de films minces composites, de graphène, etc. il est facile d'ajouter des fonctions et peut étendre des fonctions telles que le nettoyage au plasma et la gravure. Le PECVD Le système présente les avantages d'un taux de dépôt de film élevé, d'une bonne uniformité, d'une consistance élevée et d'une stabilité



paramètres techniques détaillés

modèle

TL1600-I

Puissance

5KW

tube taille (OD) (mm)

Haute pureté corindon tube: 60mm (tube diamètre)

deux bouchons de four sont placés de chaque côté. Le bouchon du four peut bloquer le rayonnement thermique au centre du tube du four et doit être placé dans la bonne position dans le four avant le chauffage.

dimension

1120X490X855

tension d'alimentation

220V

phase

monophasé

élément chauffant

1800 modèle barre de molybdène de silicium

type de contrôle de température

utilisation Yudian programme de contrôle de la température instrument (standard)

1. 30 segments programme de contrôle de la température intelligent pid ajustement.

2. Avec surchauffe protection, le circuit de chauffage du four électrique sera automatiquement coupé quand la température est surchauffe ou quand le couple est brisé. ON, le voyant de marche sur le panneau est éteint, le voyant d'arrêt est allumé et la fournaise électrique est limitée protégée).

3. Avec 485 interface de communication (standard avec logiciel en option)

4. il a une fonction de protection contre les coupures de courant, c'est-à-dire quand le four est mis sous tension après la mise hors tension, le programme ne démarre pas de la température initiale, mais commence à partir de la température du four quand le courant est éteint.

5.Le mètre a la fonction de température auto-réglage

(vous devez payer un supplément pour le remplacement des instruments importés, facultatif)

FP93 instrument EUROTHERM instrument à écran tactile instrument

(shimaden, Japon)

matériau de la chambre

1. Le matériau de la sole est en fibre polycristalline d'alumine

2. La surface du four intérieur est revêtue de 1800 importés. revêtement d'alumine à haute température de degré, qui peut augmenter émissivité et rendre le champ de température plus équilibré.

vannes et brides

précision de contrôle

+ / - 1 ℃

déclencheur

Déphasé déclencheur

appareil electrique

Zhejiang chint

contrôlé par silicium

106 / 16E SEMIKRON

Max. temp

1600 ℃

température nominale

1550 ℃

taux de chauffage

≤20 ℃ / Min (Peut être modifié comme requis)

taux de chauffage recommandé

≤10 ℃ / min

modèle de thermocouple

type b

longueur de la section de chauffage

300 mm

température de surface ambiante

≤45 ℃

système de vide


VS-0,1 système de vide

VS-0,1 Le système de vide peut tirer le degré de vide dans le tube du four tubulaire to0.1Pa (et équipé d'une jauge de vide à résistance affichage).

Avec LED écran vert numérique affichage.

adopter VRD16 pompe à vide


VRD16

terme technique

spécification

VRD-16


pompage speedm³ / h (L / s)

50Hz

16 m³ / h

4,4 L / s

60Hz

19,2 m³ / h

5.2 L / s

limite de pression partielle - pas de gaz ballast (Pa)

4x10-2

limite de pression totale - pas de gaz ballast (Pa)

4x10-1

limitation de la pression totale - gaz ballast (Pa)

8x10-1

source de courant

monophasé / trois phase

moteur puissance (KW)

0,75 KW / 0,55 kw

Entrée / sortie connectionDN

KF25

capacité d'huile

0,9-1,5 l

moteur vitesse (rpm)

50Hz

1440 tr / min

système d'alimentation en gaz

système d'alimentation en gaz de débitmètre de gaz

paramètres techniques:

l pneumatique canal: 6

l débit pneumatique contrôle: utiliser un débitmètre massique

l armoire taille: 600X600X600mm

l Avec affichage LED

l paramètres techniques de masse débitmètre:

interface

Φ6

afficher

LED

température de l'environnement de travail

5 ~ 45 ℃

contrôleur de débit

le contrôleur de flux de protons est utilisé, veuillez voir le dos

tube en acier inoxydable

Φ6 à l'extérieur de x Φ4 à l'intérieur

table à vide de pression

-0,1 ~ 0,15 MPa, 0,01 MPa / div

robinet d'arrêt

Φ6

contrôle de flux

PLC contrôle intelligent


paramètres techniques du débit massique Contrôleur:

produit description: type commun, circuit analogique

description détaillée du produit: type ordinaire, circuit analogique, joint en caoutchouc, shunt tubulaire, pas facile à bloquer.

principaux indicateurs:

intervalle

5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (vous pouvez choisir n'importe quelle gamme) veuillez confirmer quand vous passez la commande

précision

± 1% F.S

linéaire

0,5% F.S

Répétabilité

± 0,2% F.S

Temps de réponse

1s

chute de pression d'air

<0,01 MPa

pression maximale

3MP

température de l'environnement de travail

5 ~ 45 ℃

signal d'entrée et de sortie

0 ~ + 5,00 V

source de courant

+ 15V 50mA -15V 50mA

dimensions

158 * 30 * 110

poids

0,9 kg


configuration de l'alimentation en gaz système:

proton débitmètre

6

manomètre mécanique (plage -0,1 ~ 0,15 MPa)

1

robinets à soupape en acier inoxydable

6

acier inoxydable plaque de passage connecteurs

6

joints de soupape en acier inoxydable

2

connecteur de cylindre d'acier inoxydable

6

PTFE tube

30M

Dia80X140MM réservoir de mélange de gaz

1

Furnaceframe

1 jeu

générateurs RF / alimentations rf

principaux paramètres techniques de l'alimentation rf


plage de puissance de sortie

0-500W

puissance réfléchie maximale

200W

fréquence de travail

RF: 13,56 MHZ ± 0,005%

stabilité de puissance

+ / -0,1%

composante harmonique

≤-50dbc

largeur de la région rf

0-600 mm Ajustable

manière correspondante

automatique

mode de refroidissement

points de froid

bruit

<50 dB

interface de radiofréquence

50Ω Type N

la puissance d'entrée

208-240V 50 / 60HZ

















garantie

garantie d'un an et support technique à vie

spécial Remarque:

1. les pièces consommables telles que les éléments chauffants, les tubes de four, les creusets d'échantillonnage, etc. ne sont pas couvertes par la période de garantie.

2. les dommages causés par l'utilisation de gaz corrosifs et de gaz acides ne sont pas couverts par la garantie.


précautions

1. La pression d'air dans le tube du four devrait ne pas être supérieur que 0,02 MPa

2. en raison de la pression d'air élevée à l'intérieur de la bouteille de gaz, une soupape de décharge doit être installée sur la bouteille de gaz le gaz est introduit dans le four tube. À assurer la sécurité, il est recommandé d'utiliser une pression inférieure à 0,02 MPa

3. Quand le tube de four utilisé est un tube de corindon, quand la température du corps du four est supérieure à 1500 ℃, le tube du four devrait pas être dans un état de vide, et la pression de l'air dans le tube du four devrait être égal à la pression atmosphérique.

4. Le flux de gaz dans le tube du four devrait être inférieur à que 200SCCM pour éviter l'impact du flux d'air froid sur le tube du four chaud

5. Pour l'expérience de chauffage de l'échantillon, il n'est pas recommandé de fermer la soupape d'échappement et la soupape d'entrée de la bride extrémité du tube du four. Si vous devez fermer la vanne de gaz pour chauffer l'échantillon, vous devez toujours faire attention à l'indication de la jauge de pression. Si la pression est supérieure à 0,02 MPa, vous devez immédiatement ouvrir la soupape d'échappement pour éviter les accidents (tels que rupture du tube du four, fuite de la bride, etc.) .

6. ne pas utiliser de creusets en graphite dans les tubes en alumine.

7. MoSi2 élément chauffant devrait ne pas être utilisé à basse température (400 ℃ -700 ℃) pendant une longue période, sinon cela pourrait endommager l'élément chauffant.



CVD furnace

Tmax CE

TMAX Partner

CVD furnace


tube furnace


muffle furnace



1 standard exporté package: interne anticollision protection, boîte en bois d'exportation externe emballage.

2 expédition par express, par air, par mer selon clients conditions requises pour trouver le chemin le plus approprié.

3 responsable des dommages pendant le processus d'expédition, changera la partie endommagée pour vous gratuitement.



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Le nombre de canaux de mixage peut être de 2 canaux, 3 canaux, 4 canaux et 5 canaux. paramètres techniques détaillés du four tubulaire type 1200-I 1200-II 1200-III 1200-V 1200-VI 1200-VII Puissance 3,5KW 3,5KW 3,5KW 5KW 6KW 7KW tube taille (OD (mm) dia 60 X1000 Dia80X1000 Dia100X1000 Dia150X1000 Dia200X1000 Dia250X1000 dimensions 1140X450X690 1140X450X690 1140X450X690 1110X530X755 1120X580X805 1314X680X905 tension d'alimentation 220V phase monophasé élément chauffant fil de résistance contrôle de la température UAV programme de contrôle de la température instrument (standard) 1, 30 étages programme de contrôle de la température intelligent pid ajustement. 2. Avec surchauffe protection, le circuit de chauffage du four électrique est automatiquement coupé quand la température est surchauffe ou cassé, (lorsque la température du four électrique dépasse 1200 degrés ou que le thermocouple est grillé, le relais ca du circuit principal sera automatiquement déconnecté, le circuit principal est interrompu. Allumé, le voyant allumé sur le panneau est éteint, le voyant éteint est allumé et le four électrique à protection limitée 3, avec 485 interface de communication (standard lors achat logiciel) 4, avec power-off fonction de protection, c'est-à-dire quand l'alimentation est allumée après la mise hors tension, le programme ne démarre pas de la température de départ, mais la température du four augmente de l'heure de la panne de courant. 5, le compteur a la fonction de température auto-réglage (vous devez payer un supplément pour le remplacement des instruments importés, facultatif) FP93 régulateur de température (shimashima, Japon) instrument à écran tactile instrument européen matériau de la chambre 1. De haute qualité haute pureté four de durcissement de fibres polycristallines d'alumine formé par aspiration sous vide filtration. 2. formé par la technologie japonaise 3. L'espacement et le pas des fils de résistance dans le four sont tous agencés selon la meilleure technologie thermique au Japon, et le champ de température est simulé par le logiciel thermique. vanne et bride 60 / 80 / 100top vueétalonnage de la température (facultatif) l'étalonnage régulier de la température du four tubulaire maintient la précision et l'uniformité de la température du four. Vous peut acheter un simple outil d'étalonnage de l'entreprise pour vous assister dans ce travail. Le kit d'étalonnage complet comprend un thermocouple standard de type S, un calibrateur de température précision du contrôle + / - 1 ℃ déclencheur Déphasé déclencheur appareil electrique Zhejiang chint contrôlé par silicium 106 / 16ESEMIKRON Température maximale 1200 ℃ température nominale 1150 ℃ taux de chauffage ≤30 ℃ / Min (il peut être modifié comme requis) taux d'augmentation de température recommandé ≤15 ℃ / min type de thermocouple type k longueur de chauffage 400-440 mm longueur de température constante 150 mm courbe de champ de température température de surface périphérique ≤45 ℃ système de protection de couvercle ouvert Quand le couvercle du four est ouvert, le relais coupe automatiquement l'alimentation principale, assurant efficacement la sécurité de l'utilisateur VS-0,1 système de vide (VRD16) Le système (peut pomper le vide dans le four tubulaire à 0,6 Pa) se compose d'une bride d'aspiration (auto-fabriquée) avec KF25 interface, méthode de déflecteur à vide poussé, jauge de vide à résistance, soufflet, support (fait maison), pompe à vide connectez le tuyau en T à la sortie de la bride, connectez le silicium de résistance à une extrémité du tuyau à trois voies, connectez le l'autre extrémité, connectez le clapet et la pompe à vide avec l'ondulation de Dia25, et utilisez le KF25 pince rapide pour la connexion port. . 1. système de détection de pression ZDR-I / ZDR-I-LED type vacuomètre à simple résistanceLa jauge de vide à résistance (également connue sous le nom de Pirani vacuomètre) utilise un ZJ-52T jauge de résistance et applique un nouveau mode de fonctionnement à température constante à la puissance constante. en même temps, le microprocesseur est utilisé pour contrôler la non-linéarité du règlement. traitement linéaire. il a les caractéristiques d'une performance stable, d'une large plage de mesure, d'une réponse rapide et d'une petite dérive. Et puissant et fiable à base de microprocesseur commande de relais, sortie de communication série, sortie analogique de vide et autres fonctions. particulièrement adapté à la mesure de vide grossier et faible et au contrôle des applications de vide. 2. technique Paramètres: * distribution réglementation: ZJ-52T jauge de résistance * mesure plage: 10 5 ~ 10 -1 Pennsylvanie * nombre de mesures: 1 voie * nombre de canaux de contrôle: 2 routes peuvent être étendues à 4 ou 8 routes * contrôle plage: 5 × 10 3 ~ 5 × 10 -1 Pennsylvanie * contrôle mode: sortie contact relais, capacité de charge AC220V / 3A (ou DC28V / 3A) non inductif charge * Puissance: 90-260V / 50Hz ou 220V ± 10% 50Hz * puissance consommation: 25W * Poids: 4Kg / 3Kg / 0,5Kg (en fonction du châssis) * châssis taille: 240 × 88 × 280 ou 265 × 119 × 280 ou 96 × 96 × 120 480 × 88 × 280 ou 480 × 119 × 280 (largeur × hauteur × profondeur) 3. performances caractéristiques: * LED écran vert numérique affichage. * large éventail d'enquêtes étoiles * vitesse de réponse rapide * correction du micro-ordinateur régule la non-linéarité et réduit les erreurs de mesure. * isolation optique, filtrage numérique, amélioré anti-interférence capacité. * panneau de couleur pvc, belle apparence. * contrôle de point ou sortie de contrôle de relais de zone, tandis que le point de consigne a power-down mémoire de protection fonction. 4. adopter VRD16 pompe à vide VRD16 terme technique spécification VRD-16 pompage speedm³ / h (L / s) 50Hz 16 m³ / h 4,4 L / s 60Hz 19,2 m³ / h 5.2 L / s limite de pression partielle - pas de gaz ballast (Pa) 4x10-2 limite de pression totale - pas de gaz ballast (Pa) 4x10-1 limitation de la pression totale - gaz ballast (Pa) 8x10-1 source de courant monophasé / trois phasemoteur puissance (KW) 0,75 KW / 0,55 kw Entrée / sortie connectionDN KF25 capacité d'huile 0,9-1,5 lmoteur vitesse (rpm) 50Hz 1440 tr / min 2 canaux système d'alimentation en gaz de débitmètre massique 1. Aperçu 1) Le gaz sort de la bouteille, dépressurise à travers le détendeur, passe à travers le PTFE tube à l'entrée du système d'alimentation en gaz, puis contrôle le débit de gaz à travers le débitmètre massique, puis passe à travers le réservoir de mélange de gaz et entre ensuite dans l'entrée du four, et le gaz est déchargé. La trachée sort, passe par la vanne à trois voies, une extrémité est reliée à la pompe à vide et une extrémité est reliée à la sortie d'air. 2) un manomètre est connecté au réservoir de mélange de gaz, et le disque d'affichage du manomètre et le débitmètre massique sont installés sur le même panneau . 3) chaque conduite de gaz a une haute pression soupape de sécurité 4) Le chemin de gaz adopte haute précision débitmètre à flotteur de gaz, et la partie intérieure du chemin de gaz adopte PTFE tube, qui a une bonne résistance à la corrosion. 5) tous les joints sont reliés par des ferrules, qui ont une bonne étanchéité à l'air et une résistance à haute pression. 2. paramètres techniques: air canal: 2débit pneumatique contrôle: débit massique régulateur. Interface: Φ6 Affichage: LEDenvironnement de travail température: 5 ~ 45 ° C débit contrôleur: régulateur de débit massique (voir ci-dessous pour les paramètres techniques détaillés) PTFE tube: Φ6 extérieur XΦ4 pression vide jauge: -0,1 ~ 0,15 MPa, 0,01 MPa / division soupape soupape: Φ6 3. La pression interne du système d'alimentation en gaz devrait ne pas être trop grand, sinon il causera facilement des fuites d'air, tant que le gaz peut s'écouler normalement. 4. configuration du système d'alimentation en gaz: 1) masse débitmètre: 2 2) pression manomètre: 1 3) Coupure valve: 3 4) à travers la carte connecteur: 3 5) valve connecteur: 2 6) cylindre joints: 2 7) téflon tube: 10M 8) aération cuve: 1 9) four étagère: 1 jeumasse débitmètre paramètres techniques: contrôleur de débit massique type commun, circuit analogique, joint en caoutchouc, shunt tubulaire, pas facile à bloquer. principaux indicateurs: Gamme: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (vous pouvez choisir la plage arbitrairement) • Précision: ± 1,5% F.S • Linéaire: ± 0,5 à 1,5% F.S • Répétabilité: ± 0,2% F.S • réponse temps: 10 s • pression d'air chute:

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laboratoire CVD système avec 1500-1500C four à tube rotatif à double zone

laboratoire CVD système avec 1500-1500C four à tube rotatif à double zoneLe CVD système d'alimentation en gaz + four tubulaire + système de vide, et la température maximale peut atteindre 1200 degrés, 1400 degrés, 1600 degrés et 1700 degrés. La zone de chauffage peut être une zone à température unique, une zone à deux températures, une zone à trois températures, etc. Le vide ultime peut atteindre 10-3Pa. Le système d'alimentation en gaz peut être débitmètre massique ou flotteur débitmètre pour débit régulation. Le nombre de canaux de mixage peut être de 2 canaux, 3 canaux, 4 canaux et 5 canaux. paramètres techniques détaillés modèle 1500-1500-I 1500-1500-II Puissance 9KW 9KW taille du tube diamètre 60 (OD) X1400 mm de diamètre 80 (DE) X1400 mm tension d'alimentation 380V 380V phase biphasé biphasé tubecorindon tube: haute pureté AIO céramiques (y compris) 99,5% élément chauffant première température zone: silicium tige de carbone seconde température zone: tige de carbone de silicium vitesse de rotation du tube du four Avec en continu moteur à vitesse variable, la vitesse peut être réglée entre (1-25 RPM) Puissance du moteur 40W Le four peut être incliné à un angle 0-30degree genre d'entraînement courroie crantée et engrenage mode de contrôle UAV programme de contrôle de la température instrument (standard) 1, 30 étages programme de contrôle de la température intelligent pid ajustement. 2. Avec surchauffe protection, le circuit de chauffage du four électrique est automatiquement coupé quand la température est surchauffe ou cassé, (lorsque la température du four électrique dépasse 1520 degrés ou que le thermocouple est grillé, le relais ca sur le circuit principal sera automatiquement déconnecté, le circuit principal est cassé. Allumé, le voyant allumé sur le panneau est éteint, le voyant éteint est allumé et le four électrique à protection limitée 3, avec 485 interface de communication (standard lors achat logiciel) 4, avec power-off fonction de protection, c'est-à-dire quand l'alimentation est allumée après la mise hors tension, le programme ne démarre pas de la température de départ, mais la température du four augmente de l'heure de la panne de courant. 5, le compteur a la fonction de température auto-réglage (vous devez payer un supplément pour le remplacement des instruments importés, facultatif) FP93 instrument EUROTHERM instrument à écran tactile instrument(shimaden, Japon) matériel de four 1. four de durcissement de fibres polycristallines d'alumine de haute pureté de haute qualité formé par filtration sous vide 2. adopter la technologie japonaise pour le moulage. précision du contrôle + / - 1 ℃ déclencheur Déphasé déclencheur appareil electrique Zhejiang chint contrôlé par silicium 106 / 16ESEMIKRON La température la plus élevée dans les première et deuxième zones de température 1500 ℃ température nominale dans les première et deuxième zones de température 1400 ℃ taux de chauffage ≤20 ℃ / Min (il peut être modifié comme requis) taux d'augmentation de température recommandé ≤10 ℃ / min thermocouple s typein la première zone de température s typein la deuxième région de température longueur de la section de chauffage dans les première et deuxième zones de température 300 + 300 mm 300 + 300 mm longueur de température constante 450 mm 450 mm Gx-3 trois canaux alimentation en air (mixte air) système 1.1. Le gaz sort de la bouteille, est dépressurisé par un réducteur de pression, passe à travers le PTFE tube à l'entrée du système d'alimentation en gaz, puis passe à travers le débitmètre massique pour contrôler le débit de gaz, puis passe à travers le réservoir de mélange de gaz et entre ensuite dans l'entrée du four. 1.2. un manomètre est fixé au réservoir de mélange de gaz, et le disque d'affichage du manomètre et le proton débitmètre contrôleur sont installés sur le même panneau . 1.3. chaque conduite de gaz a une haute pression soupape de sécurité 1.4. Le chemin de gaz adopte une haute précision débitmètre massique de gaz, et l'intérieur du chemin de gaz est entièrement constitué de tuyaux en acier inoxydable, qui a une bonne résistance à la corrosion. 1.5. tous les joints de la boîte sont reliés par des viroles en acier inoxydable, qui ont une bonne étanchéité à l'air et une résistance à haute pression. 2. paramètres techniques: pneumatique canal: 3débit de gaz contrôle: débit massique mètre. armoire dimensions: 600X600X600mm masse débitmètre paramètres techniques: Interface: Φ6 Affichage: LEDenvironnement de travail température: 5 ~ 45 ° C débit contrôleur: paramètres du contrôleur de flux de protons, veuillez vérifieracier inoxydable tube: Φ6 à l'extérieur de x Φ4 pression vide table: -0,1 ~ 0,15 MPa, 0,01 MPa / division arrêt valve: Φ6 flux contrôle: PLC contrôle intelligent 3. masse débitmètre paramètres techniques: produit Nom: régulateur de débit massique description du produit : type normal, circuit analogiqueproduit détails: Circuit analogique ordinaire, joint en caoutchouc, shunt tubulaire, pas facile à bloquer. principaux indicateurs: Gamme: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (vous pouvez choisir la plage arbitrairement) • Précision: ± 1% F.S • Linéaire: 0,5% F.S • Répétabilité: ± 0,2% F.S • réponse temps: 1s • pression d'air chute:

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1600C PECVD four avec système d'alimentation en gaz et système de videLe PECVD Le système se compose d'un four tubulaire, d'une chambre à vide en quartz, d'un système de vide, d'un système d'alimentation en gaz et d'un système d'alimentation à radiofréquence. principalement utilisé pour: croissance de films minces métalliques, de films minces céramiques, de films minces composites, de graphène, etc. il est facile d'ajouter des fonctions et peut étendre des fonctions telles que le nettoyage au plasma et la gravure. Le PECVD Le système présente les avantages d'un taux de dépôt de film élevé, d'une bonne uniformité, d'une consistance élevée et d'une stabilité paramètres techniques détaillés modèle TL1600-I Puissance 5KW tube taille (OD) (mm) Haute pureté corindon tube: 60mm (tube diamètre) deux bouchons de four sont placés de chaque côté. Le bouchon du four peut bloquer le rayonnement thermique au centre du tube du four et doit être placé dans la bonne position dans le four avant le chauffage. dimension 1120X490X855 tension d'alimentation 220V phase monophasé élément chauffant 1800 modèle barre de molybdène de silicium type de contrôle de températureutilisation Yudian programme de contrôle de la température instrument (standard) 1. 30 segments programme de contrôle de la température intelligent pid ajustement. 2. Avec surchauffe protection, le circuit de chauffage du four électrique sera automatiquement coupé quand la température est surchauffe ou quand le couple est brisé. ON, le voyant de marche sur le panneau est éteint, le voyant d'arrêt est allumé et la fournaise électrique est limitée protégée). 3. Avec 485 interface de communication (standard avec logiciel en option) 4. il a une fonction de protection contre les coupures de courant, c'est-à-dire quand le four est mis sous tension après la mise hors tension, le programme ne démarre pas de la température initiale, mais commence à partir de la température du four quand le courant est éteint. 5.Le mètre a la fonction de température auto-réglage (vous devez payer un supplément pour le remplacement des instruments importés, facultatif) FP93 instrument EUROTHERM instrument à écran tactile instrument(shimaden, Japon) matériau de la chambre 1. Le matériau de la sole est en fibre polycristalline d'alumine 2. La surface du four intérieur est revêtue de 1800 importés. revêtement d'alumine à haute température de degré, qui peut augmenter émissivité et rendre le champ de température plus équilibré. vannes et brides précision de contrôle + / - 1 ℃ déclencheur Déphasé déclencheur appareil electrique Zhejiang chint contrôlé par silicium 106 / 16E SEMIKRON Max. temp 1600 ℃ température nominale 1550 ℃ taux de chauffage ≤20 ℃ / Min (Peut être modifié comme requis) taux de chauffage recommandé ≤10 ℃ / min modèle de thermocouple type b longueur de la section de chauffage 300 mm température de surface ambiante ≤45 ℃ système de vide VS-0,1 système de vide VS-0,1 Le système de vide peut tirer le degré de vide dans le tube du four tubulaire to0.1Pa (et équipé d'une jauge de vide à résistance affichage). Avec LED écran vert numérique affichage. adopter VRD16 pompe à vide VRD16 terme technique spécification VRD-16 pompage speedm³ / h (L / s) 50Hz 16 m³ / h 4,4 L / s 60Hz 19,2 m³ / h 5.2 L / s limite de pression partielle - pas de gaz ballast (Pa) 4x10-2 limite de pression totale - pas de gaz ballast (Pa) 4x10-1 limitation de la pression totale - gaz ballast (Pa) 8x10-1 source de courant monophasé / trois phasemoteur puissance (KW) 0,75 KW / 0,55 kw Entrée / sortie connectionDN KF25 capacité d'huile 0,9-1,5 lmoteur vitesse (rpm) 50Hz 1440 tr / min système d'alimentation en gaz système d'alimentation en gaz de débitmètre de gazparamètres techniques: l pneumatique canal: 6l débit pneumatique contrôle: utiliser un débitmètre massique l armoire taille: 600X600X600mm l Avec affichage LEDl paramètres techniques de masse débitmètre: interface Φ6 afficher LED température de l'environnement de travail 5 ~ 45 ℃ contrôleur de débit le contrôleur de flux de protons est utilisé, veuillez voir le dos tube en acier inoxydable Φ6 à l'extérieur de x Φ4 à l'intérieur table à vide de pression -0,1 ~ 0,15 MPa, 0,01 MPa / div robinet d'arrêt Φ6 contrôle de flux PLC contrôle intelligentparamètres techniques du débit massique Contrôleur: produit description: type commun, circuit analogiquedescription détaillée du produit: type ordinaire, circuit analogique, joint en caoutchouc, shunt tubulaire, pas facile à bloquer. principaux indicateurs: intervalle 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (vous pouvez choisir n'importe quelle gamme) veuillez confirmer quand vous passez la commande précision ± 1% F.S linéaire 0,5% F.S Répétabilité ± 0,2% F.S Temps de réponse 1s chute de pression d'air

VS-0.1 Vacuum System with VRD16 Vacuum Pump for CVD System -Tmax
VS-0,1 système de vide avec VRD16 pompe à vide pour CVD système

système de vide avec VRD16 pompe à vide pour CVD système I. AperçuLe système (peut pomper le vide dans le four tubulaire à 0,6 Pa) se compose d'une bride d'aspiration (auto-fabriquée) avec KF25 interface, méthode de déflecteur à vide poussé, jauge de vide à résistance, soufflet, support (fait maison), pompe à vide connectez le tuyau en T à la sortie de la bride, connectez le silicium de résistance à une extrémité du tuyau à trois voies, connectez le l'autre extrémité, connectez le clapet et la pompe à vide avec l'ondulation de Dia25, et utilisez le KF25 pince rapide pour la connexion port. . 2. système de détection de pression ZDR-I / ZDR-I-LED type vacuomètre à simple résistanceLa jauge de vide à résistance (également connue sous le nom de Pirani vacuomètre) utilise un ZJ-52T jauge de résistance et applique un nouveau mode de fonctionnement à température constante à la puissance constante. en même temps, le microprocesseur est utilisé pour contrôler la non-linéarité du règlement. traitement linéaire. il a les caractéristiques d'une performance stable, d'une large plage de mesure, d'une réponse rapide et d'une petite dérive. Et puissant et fiable à base de microprocesseur commande de relais, sortie de communication série, sortie analogique de vide et autres fonctions. particulièrement adapté à la mesure de vide grossier et faible et au contrôle des applications de vide. technique Paramètres: * distribution réglementation: ZJ-52T jauge de résistance * mesure plage: 10 5 ~ 10 -1 Pennsylvanie * nombre de mesures: 1 voie * nombre de canaux de contrôle: 2 routes peuvent être étendues à 4 ou 8 routes * contrôle plage: 5 × 10 3 ~ 5 × 10 -1 Pennsylvanie * contrôle mode: sortie contact relais, capacité de charge AC220V / 3A (ou DC28V / 3A) non inductif charge * Puissance: 90-260V / 50Hz ou 220V ± 10% 50Hz * puissance consommation: 25W * Poids: 4Kg / 3Kg / 0,5Kg (en fonction du châssis) * châssis taille: 240 × 88 × 280 ou 265 × 119 × 280 ou 96 × 96 × 120 480 × 88 × 280 ou 480 × 119 × 280 (largeur × hauteur × profondeur) performances caractéristiques: * LED écran vert numérique affichage. * large éventail d'enquêtes étoiles * vitesse de réponse rapide * correction du micro-ordinateur régule la non-linéarité et réduit les erreurs de mesure. * isolation optique, filtrage numérique, amélioré anti-interférence capacité. * panneau de couleur pvc, belle apparence. * contrôle de point ou sortie de contrôle de relais de zone, tandis que le point de consigne a power-down mémoire de protection fonction. 3. adopter VRD16 pompe à vide VRD16 terme technique spécification VRD-16 pompage speedm³ / h (L / s) 50Hz 16 m³ / h 4,4 L / s 60Hz 19,2 m³ / h 5.2 L / s limite de pression partielle - pas de gaz ballast (Pa) 4x10-2 limite de pression totale - pas de gaz ballast (Pa) 4x10-1 limitation de la pression totale - gaz ballast (Pa) 8x10-1 source de courant monophasé / trois phasemoteur puissance (KW) 0,75 KW / 0,55 kw Entrée / sortie connectionDN KF25 capacité d'huile 0,9-1,5 lmoteur vitesse (rpm) 50Hz 1440 tr / min 1 standard exporté package: interne anticollision protection, boîte en bois d'exportation externe emballage.2 expédition par express, par air, par mer selon clients conditions requises pour trouver le chemin le plus approprié. 3 responsable des dommages pendant le processus d'expédition, changera la partie endommagée pour vous gratuitement.

RF Power Supply for PECVD -Tmax
alimentation rf pour PECVD

alimentation rf pour PECVD Le PECVD Le système se compose d'un four tubulaire, d'une chambre à vide en quartz, d'un système de vide, d'un système d'alimentation en gaz et d'un système d'alimentation à radiofréquence. principalement utilisé pour: croissance de films minces métalliques, de films minces céramiques, de films minces composites, de graphène, etc. il est facile d'ajouter des fonctions et peut étendre des fonctions telles que le nettoyage au plasma et la gravure. Le PECVD Le système présente les avantages d'un taux de dépôt de film élevé, d'une bonne uniformité, d'une consistance élevée et d'une stabilité principaux paramètres techniques de l'alimentation rf plage de puissance de sortie 0-500W puissance réfléchie maximale 200W fréquence de travail RF: 13,56 MHZ ± 0,005% stabilité de puissance + / -0,1% composante harmonique ≤-50dbc largeur de la région rf 0-600mm réglable manière correspondante automatique mode de refroidissement points de froid bruit

1200C CVD Furnace
Lab 1200C Single Temperature Zone Quartz Tube CVD Furnace with 440mm Heating Section

Sales Manager: Gia Email: Gia@tmaxlaboratory.com Wechat: Dingqiuna

Rotary Evaporator
5,3 G / 20 L rotatif Évaporateur Avec refroidisseur & pompe 220V

5,3 G / 20 L rotatif Évaporateur Avec refroidisseur & pompe 220V Le ai SolventVap série 20L évaporateurs rotatifs est maintenant ETL testé selon UL / CSA normes. Ceci la certification est exigée par de nombreuses municipalités, et elle fournit également un niveau plus élevé de sécurité et de durée de vie de l'équipement . aussi venir standard est le nouveau couverture de bain en plexiglas . spécialement conçu pour ai 20L SolventVap évaporateurs rotatifs, cette couverture avantageuse repose solidement sur le dessus du bain-marie et assure la meilleure uniformité de température un évaporateur rotatif est un appareil utilisé dans les laboratoires de chimie pour l'élimination efficace et douce des solvants de échantillons par évaporation. Le procédé d'évaporation rotative est le plus souvent utilisé pour séparer les solvants à bas point d'ébullition, comme le n-hexane ou acétate d'éthyle, de composés solides à température et pression ambiantes. Cependant, une application soigneuse permet également d'éliminer un solvant de un échantillon contenant un composé liquide, si la co-évaporation (azéotropique comportement) et une différence de points d'ébullition suffisante à la température choisie et à la pression réduite. Exemple: Le Le tableau suivant est une liste d'une variété de substances classées par augmentation de la pression de vapeur (en unités absolues ). Le nouvellement repensé ai SolventVap 5,3 gallons / 20 L / 0,7 cu ft (évaporation ballon capacité) séries évaporateurs rotatifs viens avec tout PTFE vannespour résistant aux solvants opérations. Nous a également abaissé la hauteur de l'unité assemblée, pour une installation facile et une facilité d'utilisation et de stockage. aussi venir avec eux sont de la verrerie verticale et numérique température / rotation contrôle. son volume de bain optimisé permet un chauffage rapide fois. L'unité de condensation a des tubes en verre spécialement conçus qui utilisent la surface de manière extrêmement efficace. C'est pourquoi notre SolventVap évaporateurs fournissent systématiquement des résultats de processus fiables et reproductibles qui sont généralement réservés à des systèmes plus coûteux. un autre aspect important du SolventVap est le dispositif de sécurité, qui comprend run-run protection, bain-marie surchauffe arrêt protection et protection par fusible évaporateur rotatif dispose d'un moteur et d'un engrenage à vis sans fin spécialement conçus, qui assure une rotation constante à des vitesses de 10 à 130 tr / min. lors de la rotation du ballon contenant le solvant, il transfère en permanence une fine couche de liquide sur toute la surface intérieure. Ceci donne une très grande surface d'évaporation, qui est provoquée par le chauffage doux de l'eau bain. Le système rotatif est équipé d'un joint spécial qui permet de placer l'appareil sous vide, réduisant efficacement le point d'ébullition des solvants et éliminant la phase vapeur, rendant le processus beaucoup plus efficace. chaque unité est également équipée d'un facile à utiliser libération de vide et système d'alimentation continue, qui permet au solvant d'être constamment aspiré le ballon rotatif sans avoir à arrêter l'opération . bain-marie numériqueopère à partir de température ambiante jusqu'à 99 ° C (210 ° F) avec régulation de température pid pas à pas à 0,1 ° C incréments. les serpentins de chauffage sont situés directement à l'intérieur de la casserole pour un chauffage le plus efficace possible. un protecteur de surchauffe intégré coupe l'alimentation, devrait le contrôleur échoue. ensemble de verrerie standardcomprend 5,28 gallon (20 litres) ballon d'évaporation à fond rond, 2.64 gallon (10 litres) ballon de réception à fond rond et condenseur vertical évaporateurs rotatifs avec condenseur vertical en verre sont parfaits pour la distillation de solvants avec des points d'ébullition plus élevés. fonctionnalités · double condenseur gratuit et double ballon de réception, d'une valeur de 3000 $ · acier inoxydable libre 20L support de flacon d'évaporation avec coussins en silicone (a 299 $ valeur), fait sur mesure pour ai 20L SolventVap évaporateurs rotatifs Ceci le support peut être placé sur notre 20L SolventVap bain-marie pour un chargement et un déchargement faciles. il peut également être utilisé comme ballon support. · la nouvelle isolation du condenseur protège votre verrerie et augmente l'efficacité du refroidissement (inclus avec rotovap achat). · nouvelles roulettes pivotantes peuvent être réglées pour rotovap se tenir solidement sur un sol inégal. · le couvercle du bain-marie améliore la sécurité en protégeant le ballon d'évaporation et le matériau à l'intérieur; il vous donne une température uniforme à l'intérieur du ballon d'évaporation ainsi qu'une économie d'énergie en réduisant la perte de chaleur. il crée également un meilleur environnement de laboratoire en empêchant la chaleur et l'humidité s'échapper. · Résistant aux solvants PTFE et Viton joints, assurant un fonctionnement de longue durée. · moteur spécialisé avec vis sans fin et engrenage à vis sans fin entrelacés extrêmement compacts pour un entraînement précis pour un fonctionnement très silencieux, sans vibrations opération. · Condensation vers le bas la conception du raccord de vide garantit un fonctionnement · relevage motorisé du bain-marie pour un contrôle précis. · Facile, simple fonctionnement visuel avec affichage numérique de la vitesse et de la température. · Le régulateur de température pid assure un contrôle précis de la température · garantie d'un an sur l'évaporateur rotatif à l'exception de la verrerie et de tous les joints d'étanchéité. Votre sécurité est importante pour nous veuillez faire preuve de prudence quand fonctionnement. les utilisateurs d'équipements de réaction en verre doivent prendre toutes les précautions nécessaires pour éviter tout contact avec les pièces rotatives, en particulier l'enchevêtrement de vêtements amples, cheveux, colliers ou autres bijoux. sous ces circonstances, l'action d'enroulement des pièces tournantes peut attirer utilisateur (s) en l'appareil, entraînant la rupture de la verrerie, des brûlures et / ou exposition aux produits chimiques. des précautions supplémentaires doivent également être prises quand fonctionnant avec réactif à l'air matériaux, notamment sous vide. une fuite peut aspirer de l'air l'appareil et provoquer une réaction violente Caractéristiques Exigences électriques 220V 50 / 60Hz monophasé, 20A, 4300 watt (rotation moteur: 300 watts) matériau en verreverre à haute teneur en borosilicate 3.3 ballon d'évaporation Capacité: 5,28 gallon (20 litres ou 0,7 cu ft) maximum charge: ne pas dépasser 60% des flacons capacité étanchéité bride: 4,9 " diamètre rotation vitesse: 10 à 130 tr / minévaporation vitesse: 1 gallon / heure (eau), 2 gallon / heure (alcool) flacon de réception 2,64 gallon (10 litres ou 0,35 cu ft) condenseur Verrerie: principal + auxiliaire triple circulation pièges froids, verticauxfluide réfrigérant conneciton: 3 / 8 " raccord cannelé x 4 (2 sur le principal + 2 sur auxiliaire) surface de condensation principal condenseur: 9 480 cm 2 ou 10.2 sq pi auxiliaire condenseur: 3 580 cm 2 ou 3,9 sq pi environnement de travail5 à 95 ° F bain d'eautempérature plage: ambiante à 99 ° C (210 ° F) température régulateur: numérique Dimensions: 17,5 " diamètre x 9,8" profondeur x 12 " hauteur Matériel: acier inoxydable Médias: eau distillée uniquement Max. eau niveau: ne pas dépasser 1 " à partir du bord supérieur de la baignoire nombre de réchauffeurs: deux drain port: une extérieur doublure: caoutchouc Levage: motorisé levage maximal distance: 7,5 pouces vide Niveau: < 3 torrs Etanchéité: PTFE + Viton les joints Connecteur: 3 / 8 " tuyau cannelé x 1 roulettes pivotantes Quatre, intégré avec serrures sécurité Fonctionnement à sec, surchauffe disjoncteurs intégrés à coupure poids d'expédition 238 lb (évaporateur), 130 lb (verrerie) Unité / expédition dimensions49 x 23,5 x 82,5 " / 41 x 24 x 48" (évaporateur), 34 x 29 x 33 " (verrerie) (LxPxH) certificationUL, CSA un évaporateur rotatif est un appareil utilisé dans les laboratoires de chimie pour l'élimination efficace et douce des solvants de échantillons par évaporation. Le procédé d'évaporation rotative est le plus souvent utilisé pour séparer les solvants à bas point d'ébullition, comme le n-hexane ou acétate d'éthyle, de composés solides à température et pression ambiantes. Cependant, une application soigneuse permet également d'éliminer un solvant de un échantillon contenant un composé liquide, si la co-évaporation (azéotropique comportement) et une différence de points d'ébullition suffisante à la température choisie et à la pression réduite. Exemple: Le Le tableau suivant est une liste d'une variété de substances classées par augmentation de la pression de vapeur (en unités absolues ). paquet standard description de la pièce quantité ai SolventVap 5,3 gallons évaporateur rotatif et bain-marie 1 jeu condenseur principal double avec manchons isolants condenseur auxiliaire simple avec manchons isolants 2 ensembles 20L ballon d'évaporation rotatif double 10L flacon de réception 2 ensembles ballon tampon de vapeur à trois voies et bouteille filtrante de vapeur 1 ensemblesconduit de vapeur en verre avec joint (pré-installé) 1 jeu PTFE kit de mise sous vide (pré-installé) 2 pièces orifice de vide en verre pour ballon receveur avec PTFE ouvrir / fermer soupape 2 ensembles orifice d'alimentation en verre avec PTFE ouvrir / fermer vanne et PTFE tube d'alimentation d'extension 1 jeu poteau en acier inoxydable et vacuomètre mécanique 2 pièces Flacon / condenseur support x 2, support x 1 3 pièces pince rapide pour flacon & PTFE anneaux de centrage 7 ensembles GL18 connecteur 5 ensembles clé pour bouchon de ballon d'évaporation, clé Allen & des vis 1 jeu NEMA L6-30 30A 250V fiche d'alimentation installée ai 20L support de flacon en acier inoxydable / supporter 1 pcai couvercle de bain en plexiglas pour SolventVap 20L 1 pc Utilisateur Manuel 1 pc 1 standard exporté package: interne anticollision protection, boîte en bois d'exportation externe emballage.2 expédition par express, par air, par mer selon clients conditions requises pour trouver le chemin le plus approprié. 3 responsable des dommages pendant le processus d'expédition, changera la partie endommagée pour vous gratuitement.

Coating Machine
rouler À système de revêtement par transfert en rouleau ( Max. 300 mm Largeur) Avec étuve de séchage Pour électrodes

rouler À système de revêtement par transfert en rouleau ( Max. 300 mm Largeur) Avec étuve de séchage Pour électrodes TMAX-MRX300 est un système de revêtement d'électrode de batterie automatique avec une empreinte compacte inférieure à 6'x3 '. il utilise une technique de revêtement par transfert pour une meilleure uniformité du revêtement et est parfait pour la recherche ou la construction de prototypes de batteries rechargeables de nouvelle génération il est intégré aux fonctions / caractéristiques du déroulement du rouleau de feuille métallique (enroulement hors), du dispositif d'alimentation en lisier, de la lame d'enduction, du four de cuisson et de l'enroulement final d'électrode avec opération d'écran tactile pour client le plus commodité. https: / / www.youtube.com / regarder? v = beWEO53T rss Ceci est le lien vidéo vers le produit. Tension de travail 380V ac Max. consommation d'énergie10 kw ( 30A disjoncteur requis ) Max. largeur de revêtement 300 mm plage réglable d'épaisseur 0-5mm épaisseur du revêtement (après séchage) 20 - 200um (pour la plupart des types de revêtement d'électrode de batterie matériau) Remarque: Les résultats d'épaisseur du revêtement séché varient en fonction de la propriété physique du matériau de revêtement. précision d'épaisseur ± 3µm (± 5µm aux bords) vitesse de revêtement 0-300 mm / minute Max. température de séchage 150 ° C précision de la température ± 2,5 ° C longueur de la zone de chauffage 710 mm (28 ") Déroulement / Déroulement arbre 75mm (ID) Max. Déroulement / Déroulement diamètre 300 mm (OD) Max. longueur de revêtement · en fonction du revêtement et de l'épaisseur du substrat · Généralement, 10um feuille épaisse avec 100um revêtement peut obtenir 600 mètres de longueur d'électrode revêtus par courir modes de revêtement · utilisant la technique de revêtement par transfert ( virgule inverse ) pour une meilleure uniformité · deux modes de revêtement disponibles sélectionnable sur le panneau de commande. o mode continu orevêtement intermittent ( le système effectue le revêtement, s'arrête, recouvre et ainsi de suite. La longueur des segments de revêtement et de rupture peut être spécifiée par l'utilisateur ). agitation du lisier SS316 tige mobile taille de l'orifice d'échappement 127mm O.D air comprimé 0,5-0,8 MPa (Air compresseur non inclus. veuillez cliquer ici pour commander) dimensions du produit 1650 mm ( L) x 1250 mm (W) x 1200 mm (H) garantie · garantie limitée de deux ans avec assistance à vie · la rouille et les dommages dus à des conditions de stockage ou à un entretien inadéquats ne sont pas couverts par la garantie poids net 1000 kilogrammes dimension d'expédition 70 " x 50" x 60 " 1 standard exporté package: interne anticollision protection, boîte en bois d'exportation externe emballage.2 expédition par express, par air, par mer selon clients conditions requises pour trouver le chemin le plus approprié. 3 responsable des dommages pendant le processus d'expédition, changera la partie endommagée pour vous gratuitement.

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