1600C CVD four avec système d'alimentation en gaz et système de vide
1600C PECVD four avec système d'alimentation en gaz et système de videLe PECVD Le système se compose d'un four tubulaire, d'une chambre à vide en quartz, d'un système de vide, d'un système d'alimentation en gaz et d'un système d'alimentation à radiofréquence. principalement utilisé pour: croissance de films minces métalliques, de films minces céramiques, de films minces composites, de graphène, etc. il est facile d'ajouter des fonctions et peut étendre des fonctions telles que le nettoyage au plasma et la gravure. Le PECVD Le système présente les avantages d'un taux de dépôt de film élevé, d'une bonne uniformité, d'une consistance élevée et d'une stabilité paramètres techniques détaillés modèle TL1600-I Puissance 5KW tube taille （OD） (mm) Haute pureté corindon tube: 60mm (tube diamètre) deux bouchons de four sont placés de chaque côté. Le bouchon du four peut bloquer le rayonnement thermique au centre du tube du four et doit être placé dans la bonne position dans le four avant le chauffage. dimension 1120X490X855 tension d'alimentation 220V phase monophasé élément chauffant 1800 modèle barre de molybdène de silicium type de contrôle de températureutilisation Yudian programme de contrôle de la température instrument (standard) 1. 30 segments programme de contrôle de la température intelligent pid ajustement. 2. Avec surchauffe protection, le circuit de chauffage du four électrique sera automatiquement coupé quand la température est surchauffe ou quand le couple est brisé. ON, le voyant de marche sur le panneau est éteint, le voyant d'arrêt est allumé et la fournaise électrique est limitée protégée). 3. Avec 485 interface de communication (standard avec logiciel en option) 4. il a une fonction de protection contre les coupures de courant, c'est-à-dire quand le four est mis sous tension après la mise hors tension, le programme ne démarre pas de la température initiale, mais commence à partir de la température du four quand le courant est éteint. 5.Le mètre a la fonction de température auto-réglage (vous devez payer un supplément pour le remplacement des instruments importés, facultatif) FP93 instrument EUROTHERM instrument à écran tactile instrument(shimaden, Japon) matériau de la chambre 1. Le matériau de la sole est en fibre polycristalline d'alumine 2. La surface du four intérieur est revêtue de 1800 importés. revêtement d'alumine à haute température de degré, qui peut augmenter émissivité et rendre le champ de température plus équilibré. vannes et brides précision de contrôle + / - 1 ℃ déclencheur Déphasé déclencheur appareil electrique Zhejiang chint contrôlé par silicium 106 / 16E SEMIKRON Max. temp 1600 ℃ température nominale 1550 ℃ taux de chauffage ≤20 ℃ / Min (Peut être modifié comme requis) taux de chauffage recommandé ≤10 ℃ / min modèle de thermocouple type b longueur de la section de chauffage 300 mm température de surface ambiante ≤45 ℃ système de vide VS-0,1 système de vide VS-0,1 Le système de vide peut tirer le degré de vide dans le tube du four tubulaire to0.1Pa (et équipé d'une jauge de vide à résistance affichage). Avec LED écran vert numérique affichage. adopter VRD16 pompe à vide VRD16 terme technique spécification VRD-16 pompage speedm³ / h （L / s） 50Hz 16 m³ / h 4,4 L / s 60Hz 19,2 m³ / h 5.2 L / s limite de pression partielle - pas de gaz ballast （Pa） 4x10-2 limite de pression totale - pas de gaz ballast （Pa） 4x10-1 limitation de la pression totale - gaz ballast （Pa） 8x10-1 source de courant monophasé / trois phasemoteur puissance （KW） 0,75 KW / 0,55 kw Entrée / sortie connectionDN KF25 capacité d'huile 0,9-1,5 lmoteur vitesse （rpm） 50Hz 1440 tr / min système d'alimentation en gaz système d'alimentation en gaz de débitmètre de gazparamètres techniques: l pneumatique canal: 6l débit pneumatique contrôle: utiliser un débitmètre massique l armoire taille: 600X600X600mm l Avec affichage LEDl paramètres techniques de masse débitmètre: interface Φ6 afficher LED température de l'environnement de travail 5 ~ 45 ℃ contrôleur de débit le contrôleur de flux de protons est utilisé, veuillez voir le dos tube en acier inoxydable Φ6 à l'extérieur de x Φ4 à l'intérieur table à vide de pression -0,1 ～ 0,15 MPa, 0,01 MPa / div robinet d'arrêt Φ6 contrôle de flux PLC contrôle intelligentparamètres techniques du débit massique Contrôleur: produit description: type commun, circuit analogiquedescription détaillée du produit: type ordinaire, circuit analogique, joint en caoutchouc, shunt tubulaire, pas facile à bloquer. principaux indicateurs: intervalle 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (vous pouvez choisir n'importe quelle gamme) veuillez confirmer quand vous passez la commande précision ± 1% F.S linéaire 0,5% F.S Répétabilité ± 0,2% F.S Temps de réponse 1s chute de pression d'air
