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Numéro d\'article.:
TMAX-MSK-USP-02certificat :
CE Certifiedgarantie :
1 Year limited warranty with lifetime supportMachine de revêtement par pyrolyse par pulvérisation ultrasonique de paillasse 500C avec plaque chauffante de 6"Ã6"
La pyrolyse par pulvérisation est un processus dans lequel un film mince est déposé par pulvérisation d'une solution sur une surface chauffée, où le constituant réagit pour former un composé chimique. Le procédé est particulièrement utile pour le dépôt d'oxydes et constitue depuis longtemps une méthode de production permettant d'appliquer un conducteur électrique transparent en oxyde d'étain (SnO2) ou en oxyde de stannique sur un substrat en verre. Aujourd'hui, cette technique est de plus en plus utilisée pour préparer des films minces de pérovskite, comme dans les cellules solaires à pérovskite.
MSK-USP-02 est un équipement de bureau de pyrolyse par pulvérisation ultrasonique (USP) ou appelé Mist CVD où des paramètres tels que le taux de distribution de la solution et la vitesse de mouvement de la tête de pulvérisation sont contrôlés avec précision par une interface logicielle. Une pompe volumétrique contrôlée par un moteur pas à pas est utilisée pour distribuer la solution selon les besoins. La tête de pulvérisation à ultrasons permet un revêtement en couche mince et son mouvement est contrôlé par les étages linéaires entraînés par un moteur pas à pas dans les directions X et Y pour garantir un revêtement uniforme. La forme et la vitesse de pulvérisation peuvent être ajustées en modifiant la pression de l'air comprimé au niveau de la buse. La température de la plaque chauffante du substrat est contrôlée indépendamment via un contrôleur dédié.
Spécifications :
Entrée électrique |
A. Monophasé 208-240 VCA, 50/60 Hz B.Veuillez commander un transformateur de 1 500 W pour faire fonctionner la machine uniquement à 110 V C.Actionneur : Moteur pas à pas, 24 VDC |
Dimensions |
(Machine dans son ensemble)
Taille de la chambre (700 mm de largeur x 700 mm de profondeur x 700 mm de hauteur) |
Distributeur |
A. Trois têtes de pulvérisation sont incluses a. Tête de pulvérisation à ultrasons (assistée par air comprimé, diamètre de trou d'épingle de 2 mm) pour un revêtement uniforme en couche mince (Photo 1)) b. Tête de pulvérisation à air comprimé avec trou d'épingle de 0,3 mm de diamètre pour le revêtement d'un film épais (Pic.2) c. Tête de pulvérisation d'air en verre de quartz en option avec trou d'épingle de 0,3 mm pour un revêtement mince sur de petites zones (Pic.4) d. Pousse-seringue de 20 mL avec deux buses d'air pour l'enrobage de petites quantités. (Faible viscosité <3000) ( Pic.4) B.Distance de déplacement de la tête de pulvérisation : 150 mm (le plus bas) à 250 mm (le plus haut), 200 mm (axe X) et 235 mm (axe Y) Photo. 1Photo. 2 Photo. 3Photo. 4 C.Capacité de l'unité de distribution : récipient de 50 mL et 250 ml (deux récipients inclus) D.Débit de distribution du conteneur : 1 à 20 mL/min réglable via un logiciel E. Débit de distribution du pousse-seringue : 20 μL/min - 10 ml/min réglable via un logiciel F.Un ordinateur portable flambant neuf ou une Microsoft Surface Pro avec logiciel préinstallé est inclus. (Veuillez sélectionner dans les options du produit)
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Pulvérisateur
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A.Buse d'atomiseur ultrasonique : 40 kHz, 130 W B.Produire une fine pulvérisation de gouttelettes de taille moyenne 50 microns C.Plage de viscosité du fluide : 1 - 50 mPa·s (cP) D.Traverse du pulvérisateur : X - Y 200 mm max E.Vitesse d'entraînement axe X : 10-800 mm/sec F.Vitesse d'entraînement axe Y : 1-12 mm/sec G.Remarque : vous pouvez utiliser un gaz inerte ou de l'air comprimé pour façonner le motif de pulvérisation et augmenter la vitesse de pulvérisation |
Compresseur d'air |
A.De l'air comprimé avec une pression de ~ 4 bars est nécessaire pour le fonctionnement normal de l'unité B.Un compresseur d'air compact est inclus pour une utilisation immédiate C.Attention : Si une bouteille de gaz est utilisée à la place d'un compresseur d'air, un régulateur de pression à deux étages (pic1) doit être installé |
Plaque de base du substrat
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A.Dimension : 150 mm × 150 mm B.Température maximale : 500 °C C.La grande plaque chauffante HP-500V est également disponible sur demande.
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Logiciel |
A.Le boîtier du contrôleur système est connecté à l'ordinateur portable ou à la Surface Pro via le port RS232 et l'adaptateur USB B.Contrôle logiciel centralisé du débit de distribution, du mouvement de la scène X-Y, du chargement et de la vidange de la solution C. Tous les paramètres du processus peuvent être enregistrés en tant que processus utilisateur et récupérés ultérieurement pour analyse ou réexécution D.Un ordinateur portable flambant neuf ou une Microsoft Surface Pro avec logiciel préinstallé est inclus. (Veuillez sélectionner dans Options du produit) |
Garantie |
Garantie limitée d'un an avec assistance à vie (démo avant achat disponible) |
Conformité |
Certifié CE |
Note d'application |
A.De nombreux facteurs affectent la qualité du revêtement comme ci-dessous. Le client a besoin d'un test pour trouver le meilleur paramètre de traitement a. Propreté b. Superficie c. Topographie ou profil de surface d. Température (énergie thermique) e. Temps (vitesses de réaction, vitesses de refroidissement, etc.) f. Vitesse (énergie cinétique) g. Propriétés physiques et chimiques h. Réactions physiques et chimiques |
Notes d'application |
Soyez prudent lorsque vous utilisez des matières dangereuses. La chambre de travail de cet appareil n'est ni ignifuge, ni antidéflagrante, ni scellée sous vide. Contactez votre service de santé et de sécurité pour obtenir des instructions détaillées sur la manipulation des matériaux et les pratiques de prévention/protection. Si vous avez besoin d'une chambre de sécurité scellée sous vide, veuillez considérer le MSK-USP-06. |
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