Directeur commercial: Andréa E-mail: Andrea@tmaxlaboratory.com Chatter : 18250801164

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1600C PECVD four avec système d'alimentation en gaz et système de videLe PECVD Le système se compose d'un four tubulaire, d'une chambre à vide en quartz, d'un système de vide, d'un système d'alimentation en gaz et d'un système d'alimentation à radiofréquence. principalement utilisé pour: croissance de films minces métalliques, de films minces céramiques, de films minces composites, de graphène, etc. il est facile d'ajouter des fonctions et peut étendre des fonctions telles que le nettoyage au plasma et la gravure. Le PECVD Le système présente les avantages d'un taux de dépôt de film élevé, d'une bonne uniformité, d'une consistance élevée et d'une stabilité paramètres techniques détaillés modèle TL1600-I Puissance 5KW tube taille （OD） (mm) Haute pureté corindon tube: 60mm (tube diamètre) deux bouchons de four sont placés de chaque côté. Le bouchon du four peut bloquer le rayonnement thermique au centre du tube du four et doit être placé dans la bonne position dans le four avant le chauffage. dimension 1120X490X855 tension d'alimentation 220V phase monophasé élément chauffant 1800 modèle barre de molybdène de silicium type de contrôle de températureutilisation Yudian programme de contrôle de la température instrument (standard) 1. 30 segments programme de contrôle de la température intelligent pid ajustement. 2. Avec surchauffe protection, le circuit de chauffage du four électrique sera automatiquement coupé quand la température est surchauffe ou quand le couple est brisé. ON, le voyant de marche sur le panneau est éteint, le voyant d'arrêt est allumé et la fournaise électrique est limitée protégée). 3. Avec 485 interface de communication (standard avec logiciel en option) 4. il a une fonction de protection contre les coupures de courant, c'est-à-dire quand le four est mis sous tension après la mise hors tension, le programme ne démarre pas de la température initiale, mais commence à partir de la température du four quand le courant est éteint. 5.Le mètre a la fonction de température auto-réglage (vous devez payer un supplément pour le remplacement des instruments importés, facultatif) FP93 instrument EUROTHERM instrument à écran tactile instrument(shimaden, Japon) matériau de la chambre 1. Le matériau de la sole est en fibre polycristalline d'alumine 2. La surface du four intérieur est revêtue de 1800 importés. revêtement d'alumine à haute température de degré, qui peut augmenter émissivité et rendre le champ de température plus équilibré. vannes et brides précision de contrôle + / - 1 ℃ déclencheur Déphasé déclencheur appareil electrique Zhejiang chint contrôlé par silicium 106 / 16E SEMIKRON Max. temp 1600 ℃ température nominale 1550 ℃ taux de chauffage ≤20 ℃ / Min (Peut être modifié comme requis) taux de chauffage recommandé ≤10 ℃ / min modèle de thermocouple type b longueur de la section de chauffage 300 mm température de surface ambiante ≤45 ℃ système de vide VS-0,1 système de vide VS-0,1 Le système de vide peut tirer le degré de vide dans le tube du four tubulaire to0.1Pa (et équipé d'une jauge de vide à résistance affichage). Avec LED écran vert numérique affichage. adopter VRD16 pompe à vide VRD16 terme technique spécification VRD-16 pompage speedm³ / h （L / s） 50Hz 16 m³ / h 4,4 L / s 60Hz 19,2 m³ / h 5.2 L / s limite de pression partielle - pas de gaz ballast （Pa） 4x10-2 limite de pression totale - pas de gaz ballast （Pa） 4x10-1 limitation de la pression totale - gaz ballast （Pa） 8x10-1 source de courant monophasé / trois phasemoteur puissance （KW） 0,75 KW / 0,55 kw Entrée / sortie connectionDN KF25 capacité d'huile 0,9-1,5 lmoteur vitesse （rpm） 50Hz 1440 tr / min système d'alimentation en gaz système d'alimentation en gaz de débitmètre de gazparamètres techniques: l pneumatique canal: 6l débit pneumatique contrôle: utiliser un débitmètre massique l armoire taille: 600X600X600mm l Avec affichage LEDl paramètres techniques de masse débitmètre: interface Φ6 afficher LED température de l'environnement de travail 5 ~ 45 ℃ contrôleur de débit le contrôleur de flux de protons est utilisé, veuillez voir le dos tube en acier inoxydable Φ6 à l'extérieur de x Φ4 à l'intérieur table à vide de pression -0,1 ～ 0,15 MPa, 0,01 MPa / div robinet d'arrêt Φ6 contrôle de flux PLC contrôle intelligentparamètres techniques du débit massique Contrôleur: produit description: type commun, circuit analogiquedescription détaillée du produit: type ordinaire, circuit analogique, joint en caoutchouc, shunt tubulaire, pas facile à bloquer. principaux indicateurs: intervalle 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (vous pouvez choisir n'importe quelle gamme) veuillez confirmer quand vous passez la commande précision ± 1% F.S linéaire 0,5% F.S Répétabilité ± 0,2% F.S Temps de réponse 1s chute de pression d'air

1200C four à moufle à gaz d'atmosphère de laboratoire avec de nombreuses tailles de chambre paramètres techniques détaillés modèle 1200-I 1200-II 1200-III 1200-IV 1200-V 1200-VI 1200-VII Puissance 2,5 kw 4KW 5KW 9KW 15KW 18KW 32KW chambre taille （mm） 300X200X120 300X200X200 300X250X250 400X300X300 500X400X400 500X500X500 800X600X600 dimensions （Mm） 564X615X905 564X615X905 594X625X975 634X725X1025 764X877X1185 940X970X1300 1110X1050X1400 tension d'alimentation 220V 380V phase monophasé trois phases élément chauffant fil de résistance mode de contrôle UAV instrument de contrôle de température de programme1, 30 étages programme de contrôle de la température intelligent pid ajustement. 2. Avec surchauffe protection, le circuit de chauffage du four électrique est automatiquement coupé quand la température est surchauffe ou cassé, (lorsque la température du four électrique dépasse 1200 degrés ou que le thermocouple est grillé, le relais ca du circuit principal sera automatiquement déconnecté, le circuit principal est cassé. Allumé, le voyant allumé sur le panneau est éteint, le voyant éteint est allumé et la protection four électrique limitée). 3, avec 485 interface de communication (standard lors achat logiciel) 4, avec power-off fonction de protection, c'est-à-dire quand l'alimentation est allumée après la mise hors tension, le programme ne démarre pas de la température de départ, mais la température du four augmente de l'heure de la panne de courant. 5, le compteur a la fonction de température auto-réglage (remplacement des instruments importés, un supplément est requis, facultatif) FP93 contrôleur de température instrument européen instrument à écran tactile précision de contrôle + / - 1 ℃ déclencheur Déphasé déclencheur appareil electrique Zhejiang chint contrôlé par silicium 106 / 16E SEMIKRON Température maximale 1200 ℃ température nominale 1100 ℃ taux de chauffage ≤20 ℃ / min (il peut être modifié comme requis) recommandé taux de montée en température ≤15 ℃ / min type de thermocouple type k certification ce température de surface périphérique ≤45 ℃ système de protection de couvercle ouvert Le four est équipé d'un interrupteur de déplacement, le couvercle est ouvert, le relais coupe automatiquement l'alimentation principale, assurant efficacement la sécurité des utilisateurs 1 standard exporté package: interne anticollision protection, boîte en bois d'exportation externe emballage.2 expédition par express, par avion, par mer selon clients conditions requises pour trouver le chemin le plus approprié. 3 responsable des dommages pendant le processus d'expédition, changera la partie endommagée pour vous gratuitement.