Nom et modèle de l'équipement

Instrument de revêtement plasma magnétron VTC-2RF

Paramètres de base

· Alimentation : AC 220V 50HZ

· Puissance : < 1 800 W

RF alimentationpuissance salimentation

 · Puissance d'entrée : 220 V 3A

· Puissance de sortie : 0-300W

· Fréquence de sortie : 13,56 MHz

 · Mode de refroidissement : le mode de refroidissement à l'intérieur de l'équipement est le refroidissement par air

· Taille : 444 (L) *410 (W) *128 (H)

Têtes de pulvérisation magnétron

· Tête de pulvérisation magnétron de 2 pouces (avec couche intermédiaire refroidie à l'eau), connectée à une chambre à vide avec épissure rapide

· Exigences de taille cible : Ï50* (0,1-5) mm d'épaisseur

· La tête de pulvérisation magnétron de 2 pouces peut supporter la puissance RF maximale : 300 W

· La tête de pulvérisation magnétron de 2 pouces peut supporter la puissance CC maximale : 500 W

Sputter chamber

· Taille de la chambre : Diamètre extérieur Ï166* Diamètre intérieur Ï150* hauteur 250 mm, en quartz de haute pureté

· Bride d'étanchéité : diamètre de 174 mmï¼en métal aluminium, scellée par une bague d'étanchéité en caoutchouc fluoré

 · Un déflecteur à commande manuelle est installé sur le couvercle de la bride pour la pré-pulvérisation de la cible, et un joint à manchon Ï6,35 est inclus sur lee cache-bride pour le raccordement du tuyau d'admission.

Un treillis en acier inoxydable recouvre toute la chambre à quartz pour protéger le plasma

· Vide de la chambre : ï¼1,0Ã10-2 Torr (avec pompe à vide bipolaire à palettes rotatives), ï¼5Ã10-5 Torr (vortex moléculaire pump)

 · Si un vide plus élevé est requis, la chambre à vide en acier inoxydable peut être personnalisée (le degré de vide peut atteindre 5*10-6 torr ou moins)

· L'entrée d'air de la cavité est un joint à double manchon en acier inoxydable de 6,35 mm, qui peut être connecté à la bouteille de gaz via le tuyau en PTFE, et la taille de l'entrée d'air est contrôlée par une vanne de micro-régulation de précision.

Échantillons ssupports

· La table d'échantillons peut être tournée (pour une production de film plus uniforme) et chauffée

· Taille de l'échantillon : 50 mm de diamètre (jusqu'à 2 pouces de substrat peuvent être placés)

· Vitesse de rotation : 1-10 tr/min (réglable)

· La température de chauffage maximale de la table d'échantillons est de 700 °C (utilisation à court terme, la température constante ne dépasse pas 1 heure) et la température d'utilisation à long terme est de 500 °C.

· Précision du contrôle de la température : ± 10 â

Unité d'affichage du vide

· Modèle de vacuomètre : ZDZ-52T

· Plage de mesure : 1,0Ã105Pa~1,0Ã10-1Pa

· Plage efficace : 3,0Ã103Pa~1,0Ã100Pa

· Tube en silicone : ZJ-52T/KF16

· Taille du panneau : 96*96 mm

· La régulation du vacuomètre ne peut mesurer que l'air et l'azote, et d'autres occasions avec une grande proportion de composants gazeux doivent être corrigées.

Système de vide (en option)

· L'interface sous vide est l'interface KF25

· Modèle de pompe à vide : VRD-16

 · Débit de pompage : 4,4 L /S

· Puissance moteur : 750 W

· Pression limite : 5Ã10-1Pa (sans charge)

Équipement de refroidissement par eau (en option)

· Modèle : KJ-5000

· Courant de fonctionnement : 1,4-2,1 A

· Capacité de refroidissement : 2361Btu/h

· Taille : 55 × 28 × 43 cm (longueur × largeur × hauteur)

· Capacité du réservoir d'eau : 6 L

· Débit d'eau : 16L/min

Film tépaisseur gauge (facultatif)

· Une jauge d'épaisseur de film vibrant à quartz de précision est installée sur l'instrument pour surveiller l'épaisseur du film en temps réel avec une résolution de 0,10A

· Affichage LED, mais également saisie des données relatives au film

Dimension hors tout

Taille de l'équipement : L 550 mm × L 550 m × H 1100 mm

Taille du foyer : L 600 mm² L 600 m² H 600 mm

Poids

Environ 55KG

Durée de conservation

1 an (hors pièces d'usure telles que les bagues d'étanchéité)

Précautions

 · La pression de l'air dans la chambre ne doit pas être supérieure à 0,02 MPa (pression atmosphérique relative) ;

· En raison de la haute pression à l'intérieur du cylindre, un réducteur de pression doit être installé sur le cylindre lorsque le gaz est injecté dans le tube de quartz. Pour garantir la sécurité, il est recommandé d'utiliser une pression inférieure à 0,02MPa. Il est recommandé d'acheter un réducteur de pression auprès de notre société, dont la plage de mesure est de 0,01 MPa à 0,1 MPa, qui sera plus précise et plus sûre à utiliser.

 · Pour les expériences de chauffage d'échantillons, il n'est pas recommandé de fermer la soupape d'échappement et la soupape d'admission à l'extrémité de la bride du tube du four. S'il est nécessaire de fermer la vanne d'air pour chauffer l'échantillon, il faut toujours faire attention à l'indicateur du manomètre. Si l'indicateur de pression est supérieur à 0,02 MPa, la soupape de décharge d'air doit être ouverte immédiatement pour éviter les accidents (tels que la rupture du tube du four, l'envol des brides, etc.).

· Nous déconseillons aux clients d'utiliser des gaz inflammables, explosifs et toxiques. Si les clients doivent réellement utiliser des gaz inflammables, explosifs et toxiques pour des raisons technologiques, veuillez prendre eux-mêmes les mesures de protection et antidéflagrantes appropriées. L'entreprise n'est pas responsable des problèmes causés par l'utilisation de gaz inflammables, explosifs et toxiques.