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Species: Magnetron sputtering(650, 900M); DC sputtering(900, 800); Thermal evaporation(800C, 980); Magnetron sputtering + thermal evaporation(900C)
Main function：Vacuum sputtering coater; vacuum coating coater; thermal evaporating coater
Field of Application：SEM Sample Preparation; Materials Science; Semiconductors; Battery; Thin Film; Geological Sciences
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