laboratoire CVD système avec 1500-1500C four à tube rotatif à double zoneLe CVD système d'alimentation en gaz + four tubulaire + système de vide, et la température maximale peut atteindre 1200 degrés, 1400 degrés, 1600 degrés et 1700 degrés. La zone de chauffage peut être une zone à température unique, une zone à deux températures, une zone à trois températures, etc. Le vide ultime peut atteindre 10-3Pa. Le système d'alimentation en gaz peut être débitmètre massique ou flotteur débitmètre pour débit régulation. Le nombre de canaux de mixage peut être de 2 canaux, 3 canaux, 4 canaux et 5 canaux. paramètres techniques détaillés modèle 1500-1500-I 1500-1500-II Puissance 9KW 9KW taille du tube diamètre 60 (OD) X1400 mm de diamètre 80 (DE) X1400 mm tension d'alimentation 380V 380V phase biphasé biphasé tubecorindon tube: haute pureté AIO céramiques (y compris) 99,5% élément chauffant première température zone: silicium tige de carbone seconde température zone: tige de carbone de silicium vitesse de rotation du tube du four Avec en continu moteur à vitesse variable, la vitesse peut être réglée entre (1-25 RPM) Puissance du moteur 40W Le four peut être incliné à un angle 0-30degree genre d'entraînement courroie crantée et engrenage mode de contrôle UAV programme de contrôle de la température instrument (standard) 1, 30 étages programme de contrôle de la température intelligent pid ajustement. 2. Avec surchauffe protection, le circuit de chauffage du four électrique est automatiquement coupé quand la température est surchauffe ou cassé, (lorsque la température du four électrique dépasse 1520 degrés ou que le thermocouple est grillé, le relais ca sur le circuit principal sera automatiquement déconnecté, le circuit principal est cassé. Allumé, le voyant allumé sur le panneau est éteint, le voyant éteint est allumé et le four électrique à protection limitée 3, avec 485 interface de communication (standard lors achat logiciel) 4, avec power-off fonction de protection, c'est-à-dire quand l'alimentation est allumée après la mise hors tension, le programme ne démarre pas de la température de départ, mais la température du four augmente de l'heure de la panne de courant. 5, le compteur a la fonction de température auto-réglage (vous devez payer un supplément pour le remplacement des instruments importés, facultatif) FP93 instrument EUROTHERM instrument à écran tactile instrument(shimaden, Japon) matériel de four 1. four de durcissement de fibres polycristallines d'alumine de haute pureté de haute qualité formé par filtration sous vide 2. adopter la technologie japonaise pour le moulage. précision du contrôle + / - 1 ℃ déclencheur Déphasé déclencheur appareil electrique Zhejiang chint contrôlé par silicium 106 / 16ESEMIKRON La température la plus élevée dans les première et deuxième zones de température 1500 ℃ température nominale dans les première et deuxième zones de température 1400 ℃ taux de chauffage ≤20 ℃ / Min (il peut être modifié comme requis) taux d'augmentation de température recommandé ≤10 ℃ / min thermocouple s typein la première zone de température s typein la deuxième région de température longueur de la section de chauffage dans les première et deuxième zones de température 300 + 300 mm 300 + 300 mm longueur de température constante 450 mm 450 mm Gx-3 trois canaux alimentation en air (mixte air) système 1.1. Le gaz sort de la bouteille, est dépressurisé par un réducteur de pression, passe à travers le PTFE tube à l'entrée du système d'alimentation en gaz, puis passe à travers le débitmètre massique pour contrôler le débit de gaz, puis passe à travers le réservoir de mélange de gaz et entre ensuite dans l'entrée du four. 1.2. un manomètre est fixé au réservoir de mélange de gaz, et le disque d'affichage du manomètre et le proton débitmètre contrôleur sont installés sur le même panneau . 1.3. chaque conduite de gaz a une haute pression soupape de sécurité 1.4. Le chemin de gaz adopte une haute précision débitmètre massique de gaz, et l'intérieur du chemin de gaz est entièrement constitué de tuyaux en acier inoxydable, qui a une bonne résistance à la corrosion. 1.5. tous les joints de la boîte sont reliés par des viroles en acier inoxydable, qui ont une bonne étanchéité à l'air et une résistance à haute pression. 2. paramètres techniques: pneumatique canal: 3débit de gaz contrôle: débit massique mètre. armoire dimensions: 600X600X600mm masse débitmètre paramètres techniques: Interface: Φ6 Affichage: LEDenvironnement de travail température: 5 ~ 45 ° C débit contrôleur: paramètres du contrôleur de flux de protons, veuillez vérifieracier inoxydable tube: Φ6 à l'extérieur de x Φ4 pression vide table: -0,1 ～ 0,15 MPa, 0,01 MPa / division arrêt valve: Φ6 flux contrôle: PLC contrôle intelligent 3. masse débitmètre paramètres techniques: produit Nom: régulateur de débit massique description du produit : type normal, circuit analogiqueproduit détails: Circuit analogique ordinaire, joint en caoutchouc, shunt tubulaire, pas facile à bloquer. principaux indicateurs: Gamme: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (vous pouvez choisir la plage arbitrairement) • Précision: ± 1% F.S • Linéaire: 0,5% F.S • Répétabilité: ± 0,2% F.S • réponse temps: 1s • pression d'air chute: