laboratoire 1200C four tubulaire monozone CVD système le CVD système consiste en système d'alimentation en gaz + four tubulaire + système de vide , et la température maximale peut atteindre 1200 degrés, 1400 degrés, 1600 degrés et 1700 degrés. La zone de chauffage peut être une zone de température unique, une zone à double température, une zone à trois températures, etc. 10-3Pa . Le système d'alimentation en gaz peut être débitmètre massique ou flotteur débitmètre pour débit régulation. Le nombre de canaux de mixage peut être de 2 canaux, 3 canaux, 4 canaux et 5 canaux. paramètres techniques détaillés du four tubulaire type 1200-I 1200-II 1200-III 1200-V 1200-VI 1200-VII Puissance 3,5KW 3,5KW 3,5KW 5KW 6KW 7KW tube taille （OD (mm) dia 60 X1000 Dia80X1000 Dia100X1000 Dia150X1000 Dia200X1000 Dia250X1000 dimensions 1140X450X690 1140X450X690 1140X450X690 1110X530X755 1120X580X805 1314X680X905 tension d'alimentation 220V phase monophasé élément chauffant fil de résistance contrôle de la température UAV programme de contrôle de la température instrument (standard) 1, 30 étages programme de contrôle de la température intelligent pid ajustement. 2. Avec surchauffe protection, le circuit de chauffage du four électrique est automatiquement coupé quand la température est surchauffe ou cassé, (lorsque la température du four électrique dépasse 1200 degrés ou que le thermocouple est grillé, le relais ca du circuit principal sera automatiquement déconnecté, le circuit principal est interrompu. Allumé, le voyant allumé sur le panneau est éteint, le voyant éteint est allumé et le four électrique à protection limitée 3, avec 485 interface de communication (standard lors achat logiciel) 4, avec power-off fonction de protection, c'est-à-dire quand l'alimentation est allumée après la mise hors tension, le programme ne démarre pas de la température de départ, mais la température du four augmente de l'heure de la panne de courant. 5, le compteur a la fonction de température auto-réglage (vous devez payer un supplément pour le remplacement des instruments importés, facultatif) FP93 régulateur de température (shimashima, Japon) instrument à écran tactile instrument européen matériau de la chambre 1. De haute qualité haute pureté four de durcissement de fibres polycristallines d'alumine formé par aspiration sous vide filtration. 2. formé par la technologie japonaise 3. L'espacement et le pas des fils de résistance dans le four sont tous agencés selon la meilleure technologie thermique au Japon, et le champ de température est simulé par le logiciel thermique. vanne et bride 60 / 80 / 100top vueétalonnage de la température (facultatif) l'étalonnage régulier de la température du four tubulaire maintient la précision et l'uniformité de la température du four. Vous peut acheter un simple outil d'étalonnage de l'entreprise pour vous assister dans ce travail. Le kit d'étalonnage complet comprend un thermocouple standard de type S, un calibrateur de température précision du contrôle + / - 1 ℃ déclencheur Déphasé déclencheur appareil electrique Zhejiang chint contrôlé par silicium 106 / 16ESEMIKRON Température maximale 1200 ℃ température nominale 1150 ℃ taux de chauffage ≤30 ℃ / Min (il peut être modifié comme requis) taux d'augmentation de température recommandé ≤15 ℃ / min type de thermocouple type k longueur de chauffage 400-440 mm longueur de température constante 150 mm courbe de champ de température température de surface périphérique ≤45 ℃ système de protection de couvercle ouvert Quand le couvercle du four est ouvert, le relais coupe automatiquement l'alimentation principale, assurant efficacement la sécurité de l'utilisateur VS-0,1 système de vide (VRD16) Le système (peut pomper le vide dans le four tubulaire à 0,6 Pa) se compose d'une bride d'aspiration (auto-fabriquée) avec KF25 interface, méthode de déflecteur à vide poussé, jauge de vide à résistance, soufflet, support (fait maison), pompe à vide connectez le tuyau en T à la sortie de la bride, connectez le silicium de résistance à une extrémité du tuyau à trois voies, connectez le l'autre extrémité, connectez le clapet et la pompe à vide avec l'ondulation de Dia25, et utilisez le KF25 pince rapide pour la connexion port. . 1. système de détection de pression ZDR-I / ZDR-I-LED type vacuomètre à simple résistanceLa jauge de vide à résistance (également connue sous le nom de Pirani vacuomètre) utilise un ZJ-52T jauge de résistance et applique un nouveau mode de fonctionnement à température constante à la puissance constante. en même temps, le microprocesseur est utilisé pour contrôler la non-linéarité du règlement. traitement linéaire. il a les caractéristiques d'une performance stable, d'une large plage de mesure, d'une réponse rapide et d'une petite dérive. Et puissant et fiable à base de microprocesseur commande de relais, sortie de communication série, sortie analogique de vide et autres fonctions. particulièrement adapté à la mesure de vide grossier et faible et au contrôle des applications de vide. 2. technique Paramètres: * distribution réglementation: ZJ-52T jauge de résistance * mesure plage: 10 5 ～ 10 -1 Pennsylvanie * nombre de mesures: 1 voie * nombre de canaux de contrôle: 2 routes peuvent être étendues à 4 ou 8 routes * contrôle plage: 5 × 10 3 ~ 5 × 10 -1 Pennsylvanie * contrôle mode: sortie contact relais, capacité de charge AC220V / 3A (ou DC28V / 3A) non inductif charge * Puissance: 90-260V / 50Hz ou 220V ± 10% 50Hz * puissance consommation: 25W * Poids: 4Kg / 3Kg / 0,5Kg (en fonction du châssis) * châssis taille: 240 × 88 × 280 ou 265 × 119 × 280 ou 96 × 96 × 120 480 × 88 × 280 ou 480 × 119 × 280 (largeur × hauteur × profondeur) 3. performances caractéristiques: * LED écran vert numérique affichage. * large éventail d'enquêtes étoiles * vitesse de réponse rapide * correction du micro-ordinateur régule la non-linéarité et réduit les erreurs de mesure. * isolation optique, filtrage numérique, amélioré anti-interférence capacité. * panneau de couleur pvc, belle apparence. * contrôle de point ou sortie de contrôle de relais de zone, tandis que le point de consigne a power-down mémoire de protection fonction. 4. adopter VRD16 pompe à vide VRD16 terme technique spécification VRD-16 pompage speedm³ / h （L / s） 50Hz 16 m³ / h 4,4 L / s 60Hz 19,2 m³ / h 5.2 L / s limite de pression partielle - pas de gaz ballast （Pa） 4x10-2 limite de pression totale - pas de gaz ballast （Pa） 4x10-1 limitation de la pression totale - gaz ballast （Pa） 8x10-1 source de courant monophasé / trois phasemoteur puissance （KW） 0,75 KW / 0,55 kw Entrée / sortie connectionDN KF25 capacité d'huile 0,9-1,5 lmoteur vitesse （rpm） 50Hz 1440 tr / min 2 canaux système d'alimentation en gaz de débitmètre massique 1. Aperçu 1) Le gaz sort de la bouteille, dépressurise à travers le détendeur, passe à travers le PTFE tube à l'entrée du système d'alimentation en gaz, puis contrôle le débit de gaz à travers le débitmètre massique, puis passe à travers le réservoir de mélange de gaz et entre ensuite dans l'entrée du four, et le gaz est déchargé. La trachée sort, passe par la vanne à trois voies, une extrémité est reliée à la pompe à vide et une extrémité est reliée à la sortie d'air. 2) un manomètre est connecté au réservoir de mélange de gaz, et le disque d'affichage du manomètre et le débitmètre massique sont installés sur le même panneau . 3) chaque conduite de gaz a une haute pression soupape de sécurité 4) Le chemin de gaz adopte haute précision débitmètre à flotteur de gaz, et la partie intérieure du chemin de gaz adopte PTFE tube, qui a une bonne résistance à la corrosion. 5) tous les joints sont reliés par des ferrules, qui ont une bonne étanchéité à l'air et une résistance à haute pression. 2. paramètres techniques: air canal: 2débit pneumatique contrôle: débit massique régulateur. Interface: Φ6 Affichage: LEDenvironnement de travail température: 5 ~ 45 ° C débit contrôleur: régulateur de débit massique (voir ci-dessous pour les paramètres techniques détaillés) PTFE tube: Φ6 extérieur XΦ4 pression vide jauge: -0,1 ～ 0,15 MPa, 0,01 MPa / division soupape soupape: Φ6 3. La pression interne du système d'alimentation en gaz devrait ne pas être trop grand, sinon il causera facilement des fuites d'air, tant que le gaz peut s'écouler normalement. 4. configuration du système d'alimentation en gaz: 1) masse débitmètre: 2 2) pression manomètre: 1 3) Coupure valve: 3 4) à travers la carte connecteur: 3 5) valve connecteur: 2 6) cylindre joints: 2 7) téflon tube: 10M 8) aération cuve: 1 9) four étagère: 1 jeumasse débitmètre paramètres techniques: contrôleur de débit massique type commun, circuit analogique, joint en caoutchouc, shunt tubulaire, pas facile à bloquer. principaux indicateurs: Gamme: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (vous pouvez choisir la plage arbitrairement) • Précision: ± 1,5% F.S • Linéaire: ± 0,5 à 1,5% F.S • Répétabilité: ± 0,2% F.S • réponse temps: 10 s • pression d'air chute:

1600C PECVD four avec système d'alimentation en gaz et système de videLe PECVD Le système se compose d'un four tubulaire, d'une chambre à vide en quartz, d'un système de vide, d'un système d'alimentation en gaz et d'un système d'alimentation à radiofréquence. principalement utilisé pour: croissance de films minces métalliques, de films minces céramiques, de films minces composites, de graphène, etc. il est facile d'ajouter des fonctions et peut étendre des fonctions telles que le nettoyage au plasma et la gravure. Le PECVD Le système présente les avantages d'un taux de dépôt de film élevé, d'une bonne uniformité, d'une consistance élevée et d'une stabilité paramètres techniques détaillés modèle TL1600-I Puissance 5KW tube taille （OD） (mm) Haute pureté corindon tube: 60mm (tube diamètre) deux bouchons de four sont placés de chaque côté. Le bouchon du four peut bloquer le rayonnement thermique au centre du tube du four et doit être placé dans la bonne position dans le four avant le chauffage. dimension 1120X490X855 tension d'alimentation 220V phase monophasé élément chauffant 1800 modèle barre de molybdène de silicium type de contrôle de températureutilisation Yudian programme de contrôle de la température instrument (standard) 1. 30 segments programme de contrôle de la température intelligent pid ajustement. 2. Avec surchauffe protection, le circuit de chauffage du four électrique sera automatiquement coupé quand la température est surchauffe ou quand le couple est brisé. ON, le voyant de marche sur le panneau est éteint, le voyant d'arrêt est allumé et la fournaise électrique est limitée protégée). 3. Avec 485 interface de communication (standard avec logiciel en option) 4. il a une fonction de protection contre les coupures de courant, c'est-à-dire quand le four est mis sous tension après la mise hors tension, le programme ne démarre pas de la température initiale, mais commence à partir de la température du four quand le courant est éteint. 5.Le mètre a la fonction de température auto-réglage (vous devez payer un supplément pour le remplacement des instruments importés, facultatif) FP93 instrument EUROTHERM instrument à écran tactile instrument(shimaden, Japon) matériau de la chambre 1. Le matériau de la sole est en fibre polycristalline d'alumine 2. La surface du four intérieur est revêtue de 1800 importés. revêtement d'alumine à haute température de degré, qui peut augmenter émissivité et rendre le champ de température plus équilibré. vannes et brides précision de contrôle + / - 1 ℃ déclencheur Déphasé déclencheur appareil electrique Zhejiang chint contrôlé par silicium 106 / 16E SEMIKRON Max. temp 1600 ℃ température nominale 1550 ℃ taux de chauffage ≤20 ℃ / Min (Peut être modifié comme requis) taux de chauffage recommandé ≤10 ℃ / min modèle de thermocouple type b longueur de la section de chauffage 300 mm température de surface ambiante ≤45 ℃ système de vide VS-0,1 système de vide VS-0,1 Le système de vide peut tirer le degré de vide dans le tube du four tubulaire to0.1Pa (et équipé d'une jauge de vide à résistance affichage). Avec LED écran vert numérique affichage. adopter VRD16 pompe à vide VRD16 terme technique spécification VRD-16 pompage speedm³ / h （L / s） 50Hz 16 m³ / h 4,4 L / s 60Hz 19,2 m³ / h 5.2 L / s limite de pression partielle - pas de gaz ballast （Pa） 4x10-2 limite de pression totale - pas de gaz ballast （Pa） 4x10-1 limitation de la pression totale - gaz ballast （Pa） 8x10-1 source de courant monophasé / trois phasemoteur puissance （KW） 0,75 KW / 0,55 kw Entrée / sortie connectionDN KF25 capacité d'huile 0,9-1,5 lmoteur vitesse （rpm） 50Hz 1440 tr / min système d'alimentation en gaz système d'alimentation en gaz de débitmètre de gazparamètres techniques: l pneumatique canal: 6l débit pneumatique contrôle: utiliser un débitmètre massique l armoire taille: 600X600X600mm l Avec affichage LEDl paramètres techniques de masse débitmètre: interface Φ6 afficher LED température de l'environnement de travail 5 ~ 45 ℃ contrôleur de débit le contrôleur de flux de protons est utilisé, veuillez voir le dos tube en acier inoxydable Φ6 à l'extérieur de x Φ4 à l'intérieur table à vide de pression -0,1 ～ 0,15 MPa, 0,01 MPa / div robinet d'arrêt Φ6 contrôle de flux PLC contrôle intelligentparamètres techniques du débit massique Contrôleur: produit description: type commun, circuit analogiquedescription détaillée du produit: type ordinaire, circuit analogique, joint en caoutchouc, shunt tubulaire, pas facile à bloquer. principaux indicateurs: intervalle 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (vous pouvez choisir n'importe quelle gamme) veuillez confirmer quand vous passez la commande précision ± 1% F.S linéaire 0,5% F.S Répétabilité ± 0,2% F.S Temps de réponse 1s chute de pression d'air

1600C PECVD four avec système d'alimentation en gaz et système de videLe PECVD Le système se compose d'un four tubulaire, d'une chambre à vide en quartz, d'un système de vide, d'un système d'alimentation en gaz et d'un système d'alimentation à radiofréquence. principalement utilisé pour: croissance de films minces métalliques, de films minces céramiques, de films minces composites, de graphène, etc. il est facile d'ajouter des fonctions et peut étendre des fonctions telles que le nettoyage au plasma et la gravure. Le PECVD Le système présente les avantages d'un taux de dépôt de film élevé, d'une bonne uniformité, d'une consistance élevée et d'une stabilité paramètres techniques détaillés modèle TL1600-I Puissance 5KW tube taille （OD） (mm) Haute pureté corindon tube: 60mm (tube diamètre) deux bouchons de four sont placés de chaque côté. Le bouchon du four peut bloquer le rayonnement thermique au centre du tube du four et doit être placé dans la bonne position dans le four avant le chauffage. dimension 1120X490X855 tension d'alimentation 220V phase monophasé élément chauffant 1800 modèle barre de molybdène de silicium type de contrôle de températureutilisation Yudian programme de contrôle de la température instrument (standard) 1. 30 segments programme de contrôle de la température intelligent pid ajustement. 2. Avec surchauffe protection, le circuit de chauffage du four électrique sera automatiquement coupé quand la température est surchauffe ou quand le couple est brisé. ON, le voyant de marche sur le panneau est éteint, le voyant d'arrêt est allumé et la fournaise électrique est limitée protégée). 3. Avec 485 interface de communication (standard avec logiciel en option) 4. il a une fonction de protection contre les coupures de courant, c'est-à-dire quand le four est mis sous tension après la mise hors tension, le programme ne démarre pas de la température initiale, mais commence à partir de la température du four quand le courant est éteint. 5.Le mètre a la fonction de température auto-réglage (vous devez payer un supplément pour le remplacement des instruments importés, facultatif) FP93 instrument EUROTHERM instrument à écran tactile instrument(shimaden, Japon) matériau de la chambre 1. Le matériau de la sole est en fibre polycristalline d'alumine 2. La surface du four intérieur est revêtue de 1800 importés. revêtement d'alumine à haute température de degré, qui peut augmenter émissivité et rendre le champ de température plus équilibré. vannes et brides précision de contrôle + / - 1 ℃ déclencheur Déphasé déclencheur appareil electrique Zhejiang chint contrôlé par silicium 106 / 16E SEMIKRON Max. temp 1600 ℃ température nominale 1550 ℃ taux de chauffage ≤20 ℃ / Min (Peut être modifié comme requis) taux de chauffage recommandé ≤10 ℃ / min modèle de thermocouple type b longueur de la section de chauffage 300 mm température de surface ambiante ≤45 ℃ système de vide VS-0,1 système de vide VS-0,1 Le système de vide peut tirer le degré de vide dans le tube du four tubulaire to0.1Pa (et équipé d'une jauge de vide à résistance affichage). Avec LED écran vert numérique affichage. adopter VRD16 pompe à vide VRD16 terme technique spécification VRD-16 pompage speedm³ / h （L / s） 50Hz 16 m³ / h 4,4 L / s 60Hz 19,2 m³ / h 5.2 L / s limite de pression partielle - pas de gaz ballast （Pa） 4x10-2 limite de pression totale - pas de gaz ballast （Pa） 4x10-1 limitation de la pression totale - gaz ballast （Pa） 8x10-1 source de courant monophasé / trois phasemoteur puissance （KW） 0,75 KW / 0,55 kw Entrée / sortie connectionDN KF25 capacité d'huile 0,9-1,5 lmoteur vitesse （rpm） 50Hz 1440 tr / min système d'alimentation en gaz système d'alimentation en gaz de débitmètre de gazparamètres techniques: l pneumatique canal: 6l débit pneumatique contrôle: utiliser un débitmètre massique l armoire taille: 600X600X600mm l Avec affichage LEDl paramètres techniques de masse débitmètre: interface Φ6 afficher LED température de l'environnement de travail 5 ~ 45 ℃ contrôleur de débit le contrôleur de flux de protons est utilisé, veuillez voir le dos tube en acier inoxydable Φ6 à l'extérieur de x Φ4 à l'intérieur table à vide de pression -0,1 ～ 0,15 MPa, 0,01 MPa / div robinet d'arrêt Φ6 contrôle de flux PLC contrôle intelligentparamètres techniques du débit massique Contrôleur: produit description: type commun, circuit analogiquedescription détaillée du produit: type ordinaire, circuit analogique, joint en caoutchouc, shunt tubulaire, pas facile à bloquer. principaux indicateurs: intervalle 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (vous pouvez choisir n'importe quelle gamme) veuillez confirmer quand vous passez la commande précision ± 1% F.S linéaire 0,5% F.S Répétabilité ± 0,2% F.S Temps de réponse 1s chute de pression d'air

système de vide avec VRD16 pompe à vide pour CVD système I. AperçuLe système (peut pomper le vide dans le four tubulaire à 0,6 Pa) se compose d'une bride d'aspiration (auto-fabriquée) avec KF25 interface, méthode de déflecteur à vide poussé, jauge de vide à résistance, soufflet, support (fait maison), pompe à vide connectez le tuyau en T à la sortie de la bride, connectez le silicium de résistance à une extrémité du tuyau à trois voies, connectez le l'autre extrémité, connectez le clapet et la pompe à vide avec l'ondulation de Dia25, et utilisez le KF25 pince rapide pour la connexion port. . 2. système de détection de pression ZDR-I / ZDR-I-LED type vacuomètre à simple résistanceLa jauge de vide à résistance (également connue sous le nom de Pirani vacuomètre) utilise un ZJ-52T jauge de résistance et applique un nouveau mode de fonctionnement à température constante à la puissance constante. en même temps, le microprocesseur est utilisé pour contrôler la non-linéarité du règlement. traitement linéaire. il a les caractéristiques d'une performance stable, d'une large plage de mesure, d'une réponse rapide et d'une petite dérive. Et puissant et fiable à base de microprocesseur commande de relais, sortie de communication série, sortie analogique de vide et autres fonctions. particulièrement adapté à la mesure de vide grossier et faible et au contrôle des applications de vide. technique Paramètres: * distribution réglementation: ZJ-52T jauge de résistance * mesure plage: 10 5 ～ 10 -1 Pennsylvanie * nombre de mesures: 1 voie * nombre de canaux de contrôle: 2 routes peuvent être étendues à 4 ou 8 routes * contrôle plage: 5 × 10 3 ~ 5 × 10 -1 Pennsylvanie * contrôle mode: sortie contact relais, capacité de charge AC220V / 3A (ou DC28V / 3A) non inductif charge * Puissance: 90-260V / 50Hz ou 220V ± 10% 50Hz * puissance consommation: 25W * Poids: 4Kg / 3Kg / 0,5Kg (en fonction du châssis) * châssis taille: 240 × 88 × 280 ou 265 × 119 × 280 ou 96 × 96 × 120 480 × 88 × 280 ou 480 × 119 × 280 (largeur × hauteur × profondeur) performances caractéristiques: * LED écran vert numérique affichage. * large éventail d'enquêtes étoiles * vitesse de réponse rapide * correction du micro-ordinateur régule la non-linéarité et réduit les erreurs de mesure. * isolation optique, filtrage numérique, amélioré anti-interférence capacité. * panneau de couleur pvc, belle apparence. * contrôle de point ou sortie de contrôle de relais de zone, tandis que le point de consigne a power-down mémoire de protection fonction. 3. adopter VRD16 pompe à vide VRD16 terme technique spécification VRD-16 pompage speedm³ / h （L / s） 50Hz 16 m³ / h 4,4 L / s 60Hz 19,2 m³ / h 5.2 L / s limite de pression partielle - pas de gaz ballast （Pa） 4x10-2 limite de pression totale - pas de gaz ballast （Pa） 4x10-1 limitation de la pression totale - gaz ballast （Pa） 8x10-1 source de courant monophasé / trois phasemoteur puissance （KW） 0,75 KW / 0,55 kw Entrée / sortie connectionDN KF25 capacité d'huile 0,9-1,5 lmoteur vitesse （rpm） 50Hz 1440 tr / min 1 standard exporté package: interne anticollision protection, boîte en bois d'exportation externe emballage.2 expédition par express, par air, par mer selon clients conditions requises pour trouver le chemin le plus approprié. 3 responsable des dommages pendant le processus d'expédition, changera la partie endommagée pour vous gratuitement.

alimentation rf pour PECVD Le PECVD Le système se compose d'un four tubulaire, d'une chambre à vide en quartz, d'un système de vide, d'un système d'alimentation en gaz et d'un système d'alimentation à radiofréquence. principalement utilisé pour: croissance de films minces métalliques, de films minces céramiques, de films minces composites, de graphène, etc. il est facile d'ajouter des fonctions et peut étendre des fonctions telles que le nettoyage au plasma et la gravure. Le PECVD Le système présente les avantages d'un taux de dépôt de film élevé, d'une bonne uniformité, d'une consistance élevée et d'une stabilité principaux paramètres techniques de l'alimentation rf plage de puissance de sortie 0-500W puissance réfléchie maximale 200W fréquence de travail RF: 13,56 MHZ ± 0,005% stabilité de puissance + / -0,1% composante harmonique ≤-50dbc largeur de la région rf 0-600mm réglable manière correspondante automatique mode de refroidissement points de froid bruit

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