laboratoire CVD système avec 1500-1500C four à tube rotatif à double zoneLe CVD système d'alimentation en gaz + four tubulaire + système de vide, et la température maximale peut atteindre 1200 degrés, 1400 degrés, 1600 degrés et 1700 degrés. La zone de chauffage peut être une zone à température unique, une zone à deux températures, une zone à trois températures, etc. Le vide ultime peut atteindre 10-3Pa. Le système d'alimentation en gaz peut être débitmètre massique ou flotteur débitmètre pour débit régulation. Le nombre de canaux de mixage peut être de 2 canaux, 3 canaux, 4 canaux et 5 canaux. paramètres techniques détaillés modèle 1500-1500-I 1500-1500-II Puissance 9KW 9KW taille du tube diamètre 60 (OD) X1400 mm de diamètre 80 (DE) X1400 mm tension d'alimentation 380V 380V phase biphasé biphasé tubecorindon tube: haute pureté AIO céramiques (y compris) 99,5% élément chauffant première température zone: silicium tige de carbone seconde température zone: tige de carbone de silicium vitesse de rotation du tube du four Avec en continu moteur à vitesse variable, la vitesse peut être réglée entre (1-25 RPM) Puissance du moteur 40W Le four peut être incliné à un angle 0-30degree genre d'entraînement courroie crantée et engrenage mode de contrôle UAV programme de contrôle de la température instrument (standard) 1, 30 étages programme de contrôle de la température intelligent pid ajustement. 2. Avec surchauffe protection, le circuit de chauffage du four électrique est automatiquement coupé quand la température est surchauffe ou cassé, (lorsque la température du four électrique dépasse 1520 degrés ou que le thermocouple est grillé, le relais ca sur le circuit principal sera automatiquement déconnecté, le circuit principal est cassé. Allumé, le voyant allumé sur le panneau est éteint, le voyant éteint est allumé et le four électrique à protection limitée 3, avec 485 interface de communication (standard lors achat logiciel) 4, avec power-off fonction de protection, c'est-à-dire quand l'alimentation est allumée après la mise hors tension, le programme ne démarre pas de la température de départ, mais la température du four augmente de l'heure de la panne de courant. 5, le compteur a la fonction de température auto-réglage (vous devez payer un supplément pour le remplacement des instruments importés, facultatif) FP93 instrument EUROTHERM instrument à écran tactile instrument(shimaden, Japon) matériel de four 1. four de durcissement de fibres polycristallines d'alumine de haute pureté de haute qualité formé par filtration sous vide 2. adopter la technologie japonaise pour le moulage. précision du contrôle + / - 1 ℃ déclencheur Déphasé déclencheur appareil electrique Zhejiang chint contrôlé par silicium 106 / 16ESEMIKRON La température la plus élevée dans les première et deuxième zones de température 1500 ℃ température nominale dans les première et deuxième zones de température 1400 ℃ taux de chauffage ≤20 ℃ / Min (il peut être modifié comme requis) taux d'augmentation de température recommandé ≤10 ℃ / min thermocouple s typein la première zone de température s typein la deuxième région de température longueur de la section de chauffage dans les première et deuxième zones de température 300 + 300 mm 300 + 300 mm longueur de température constante 450 mm 450 mm Gx-3 trois canaux alimentation en air (mixte air) système 1.1. Le gaz sort de la bouteille, est dépressurisé par un réducteur de pression, passe à travers le PTFE tube à l'entrée du système d'alimentation en gaz, puis passe à travers le débitmètre massique pour contrôler le débit de gaz, puis passe à travers le réservoir de mélange de gaz et entre ensuite dans l'entrée du four. 1.2. un manomètre est fixé au réservoir de mélange de gaz, et le disque d'affichage du manomètre et le proton débitmètre contrôleur sont installés sur le même panneau . 1.3. chaque conduite de gaz a une haute pression soupape de sécurité 1.4. Le chemin de gaz adopte une haute précision débitmètre massique de gaz, et l'intérieur du chemin de gaz est entièrement constitué de tuyaux en acier inoxydable, qui a une bonne résistance à la corrosion. 1.5. tous les joints de la boîte sont reliés par des viroles en acier inoxydable, qui ont une bonne étanchéité à l'air et une résistance à haute pression. 2. paramètres techniques: pneumatique canal: 3débit de gaz contrôle: débit massique mètre. armoire dimensions: 600X600X600mm masse débitmètre paramètres techniques: Interface: Φ6 Affichage: LEDenvironnement de travail température: 5 ~ 45 ° C débit contrôleur: paramètres du contrôleur de flux de protons, veuillez vérifieracier inoxydable tube: Φ6 à l'extérieur de x Φ4 pression vide table: -0,1 ～ 0,15 MPa, 0,01 MPa / division arrêt valve: Φ6 flux contrôle: PLC contrôle intelligent 3. masse débitmètre paramètres techniques: produit Nom: régulateur de débit massique description du produit : type normal, circuit analogiqueproduit détails: Circuit analogique ordinaire, joint en caoutchouc, shunt tubulaire, pas facile à bloquer. principaux indicateurs: Gamme: 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 SCCM, 1, 2, 3, 5, 10 SLM (vous pouvez choisir la plage arbitrairement) • Précision: ± 1% F.S • Linéaire: 0,5% F.S • Répétabilité: ± 0,2% F.S • réponse temps: 1s • pression d'air chute:

1600C PECVD four avec système d'alimentation en gaz et système de videLe PECVD Le système se compose d'un four tubulaire, d'une chambre à vide en quartz, d'un système de vide, d'un système d'alimentation en gaz et d'un système d'alimentation à radiofréquence. principalement utilisé pour: croissance de films minces métalliques, de films minces céramiques, de films minces composites, de graphène, etc. il est facile d'ajouter des fonctions et peut étendre des fonctions telles que le nettoyage au plasma et la gravure. Le PECVD Le système présente les avantages d'un taux de dépôt de film élevé, d'une bonne uniformité, d'une consistance élevée et d'une stabilité paramètres techniques détaillés modèle TL1600-I Puissance 5KW tube taille （OD） (mm) Haute pureté corindon tube: 60mm (tube diamètre) deux bouchons de four sont placés de chaque côté. Le bouchon du four peut bloquer le rayonnement thermique au centre du tube du four et doit être placé dans la bonne position dans le four avant le chauffage. dimension 1120X490X855 tension d'alimentation 220V phase monophasé élément chauffant 1800 modèle barre de molybdène de silicium type de contrôle de températureutilisation Yudian programme de contrôle de la température instrument (standard) 1. 30 segments programme de contrôle de la température intelligent pid ajustement. 2. Avec surchauffe protection, le circuit de chauffage du four électrique sera automatiquement coupé quand la température est surchauffe ou quand le couple est brisé. ON, le voyant de marche sur le panneau est éteint, le voyant d'arrêt est allumé et la fournaise électrique est limitée protégée). 3. Avec 485 interface de communication (standard avec logiciel en option) 4. il a une fonction de protection contre les coupures de courant, c'est-à-dire quand le four est mis sous tension après la mise hors tension, le programme ne démarre pas de la température initiale, mais commence à partir de la température du four quand le courant est éteint. 5.Le mètre a la fonction de température auto-réglage (vous devez payer un supplément pour le remplacement des instruments importés, facultatif) FP93 instrument EUROTHERM instrument à écran tactile instrument(shimaden, Japon) matériau de la chambre 1. Le matériau de la sole est en fibre polycristalline d'alumine 2. La surface du four intérieur est revêtue de 1800 importés. revêtement d'alumine à haute température de degré, qui peut augmenter émissivité et rendre le champ de température plus équilibré. vannes et brides précision de contrôle + / - 1 ℃ déclencheur Déphasé déclencheur appareil electrique Zhejiang chint contrôlé par silicium 106 / 16E SEMIKRON Max. temp 1600 ℃ température nominale 1550 ℃ taux de chauffage ≤20 ℃ / Min (Peut être modifié comme requis) taux de chauffage recommandé ≤10 ℃ / min modèle de thermocouple type b longueur de la section de chauffage 300 mm température de surface ambiante ≤45 ℃ système de vide VS-0,1 système de vide VS-0,1 Le système de vide peut tirer le degré de vide dans le tube du four tubulaire to0.1Pa (et équipé d'une jauge de vide à résistance affichage). Avec LED écran vert numérique affichage. adopter VRD16 pompe à vide VRD16 terme technique spécification VRD-16 pompage speedm³ / h （L / s） 50Hz 16 m³ / h 4,4 L / s 60Hz 19,2 m³ / h 5.2 L / s limite de pression partielle - pas de gaz ballast （Pa） 4x10-2 limite de pression totale - pas de gaz ballast （Pa） 4x10-1 limitation de la pression totale - gaz ballast （Pa） 8x10-1 source de courant monophasé / trois phasemoteur puissance （KW） 0,75 KW / 0,55 kw Entrée / sortie connectionDN KF25 capacité d'huile 0,9-1,5 lmoteur vitesse （rpm） 50Hz 1440 tr / min système d'alimentation en gaz système d'alimentation en gaz de débitmètre de gazparamètres techniques: l pneumatique canal: 6l débit pneumatique contrôle: utiliser un débitmètre massique l armoire taille: 600X600X600mm l Avec affichage LEDl paramètres techniques de masse débitmètre: interface Φ6 afficher LED température de l'environnement de travail 5 ~ 45 ℃ contrôleur de débit le contrôleur de flux de protons est utilisé, veuillez voir le dos tube en acier inoxydable Φ6 à l'extérieur de x Φ4 à l'intérieur table à vide de pression -0,1 ～ 0,15 MPa, 0,01 MPa / div robinet d'arrêt Φ6 contrôle de flux PLC contrôle intelligentparamètres techniques du débit massique Contrôleur: produit description: type commun, circuit analogiquedescription détaillée du produit: type ordinaire, circuit analogique, joint en caoutchouc, shunt tubulaire, pas facile à bloquer. principaux indicateurs: intervalle 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (vous pouvez choisir n'importe quelle gamme) veuillez confirmer quand vous passez la commande précision ± 1% F.S linéaire 0,5% F.S Répétabilité ± 0,2% F.S Temps de réponse 1s chute de pression d'air

1600C PECVD four avec système d'alimentation en gaz et système de videLe PECVD Le système se compose d'un four tubulaire, d'une chambre à vide en quartz, d'un système de vide, d'un système d'alimentation en gaz et d'un système d'alimentation à radiofréquence. principalement utilisé pour: croissance de films minces métalliques, de films minces céramiques, de films minces composites, de graphène, etc. il est facile d'ajouter des fonctions et peut étendre des fonctions telles que le nettoyage au plasma et la gravure. Le PECVD Le système présente les avantages d'un taux de dépôt de film élevé, d'une bonne uniformité, d'une consistance élevée et d'une stabilité paramètres techniques détaillés modèle TL1600-I Puissance 5KW tube taille （OD） (mm) Haute pureté corindon tube: 60mm (tube diamètre) deux bouchons de four sont placés de chaque côté. Le bouchon du four peut bloquer le rayonnement thermique au centre du tube du four et doit être placé dans la bonne position dans le four avant le chauffage. dimension 1120X490X855 tension d'alimentation 220V phase monophasé élément chauffant 1800 modèle barre de molybdène de silicium type de contrôle de températureutilisation Yudian programme de contrôle de la température instrument (standard) 1. 30 segments programme de contrôle de la température intelligent pid ajustement. 2. Avec surchauffe protection, le circuit de chauffage du four électrique sera automatiquement coupé quand la température est surchauffe ou quand le couple est brisé. ON, le voyant de marche sur le panneau est éteint, le voyant d'arrêt est allumé et la fournaise électrique est limitée protégée). 3. Avec 485 interface de communication (standard avec logiciel en option) 4. il a une fonction de protection contre les coupures de courant, c'est-à-dire quand le four est mis sous tension après la mise hors tension, le programme ne démarre pas de la température initiale, mais commence à partir de la température du four quand le courant est éteint. 5.Le mètre a la fonction de température auto-réglage (vous devez payer un supplément pour le remplacement des instruments importés, facultatif) FP93 instrument EUROTHERM instrument à écran tactile instrument(shimaden, Japon) matériau de la chambre 1. Le matériau de la sole est en fibre polycristalline d'alumine 2. La surface du four intérieur est revêtue de 1800 importés. revêtement d'alumine à haute température de degré, qui peut augmenter émissivité et rendre le champ de température plus équilibré. vannes et brides précision de contrôle + / - 1 ℃ déclencheur Déphasé déclencheur appareil electrique Zhejiang chint contrôlé par silicium 106 / 16E SEMIKRON Max. temp 1600 ℃ température nominale 1550 ℃ taux de chauffage ≤20 ℃ / Min (Peut être modifié comme requis) taux de chauffage recommandé ≤10 ℃ / min modèle de thermocouple type b longueur de la section de chauffage 300 mm température de surface ambiante ≤45 ℃ système de vide VS-0,1 système de vide VS-0,1 Le système de vide peut tirer le degré de vide dans le tube du four tubulaire to0.1Pa (et équipé d'une jauge de vide à résistance affichage). Avec LED écran vert numérique affichage. adopter VRD16 pompe à vide VRD16 terme technique spécification VRD-16 pompage speedm³ / h （L / s） 50Hz 16 m³ / h 4,4 L / s 60Hz 19,2 m³ / h 5.2 L / s limite de pression partielle - pas de gaz ballast （Pa） 4x10-2 limite de pression totale - pas de gaz ballast （Pa） 4x10-1 limitation de la pression totale - gaz ballast （Pa） 8x10-1 source de courant monophasé / trois phasemoteur puissance （KW） 0,75 KW / 0,55 kw Entrée / sortie connectionDN KF25 capacité d'huile 0,9-1,5 lmoteur vitesse （rpm） 50Hz 1440 tr / min système d'alimentation en gaz système d'alimentation en gaz de débitmètre de gazparamètres techniques: l pneumatique canal: 6l débit pneumatique contrôle: utiliser un débitmètre massique l armoire taille: 600X600X600mm l Avec affichage LEDl paramètres techniques de masse débitmètre: interface Φ6 afficher LED température de l'environnement de travail 5 ~ 45 ℃ contrôleur de débit le contrôleur de flux de protons est utilisé, veuillez voir le dos tube en acier inoxydable Φ6 à l'extérieur de x Φ4 à l'intérieur table à vide de pression -0,1 ～ 0,15 MPa, 0,01 MPa / div robinet d'arrêt Φ6 contrôle de flux PLC contrôle intelligentparamètres techniques du débit massique Contrôleur: produit description: type commun, circuit analogiquedescription détaillée du produit: type ordinaire, circuit analogique, joint en caoutchouc, shunt tubulaire, pas facile à bloquer. principaux indicateurs: intervalle 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200SCCM (vous pouvez choisir n'importe quelle gamme) veuillez confirmer quand vous passez la commande précision ± 1% F.S linéaire 0,5% F.S Répétabilité ± 0,2% F.S Temps de réponse 1s chute de pression d'air

système de vide avec VRD16 pompe à vide pour CVD système I. AperçuLe système (peut pomper le vide dans le four tubulaire à 0,6 Pa) se compose d'une bride d'aspiration (auto-fabriquée) avec KF25 interface, méthode de déflecteur à vide poussé, jauge de vide à résistance, soufflet, support (fait maison), pompe à vide connectez le tuyau en T à la sortie de la bride, connectez le silicium de résistance à une extrémité du tuyau à trois voies, connectez le l'autre extrémité, connectez le clapet et la pompe à vide avec l'ondulation de Dia25, et utilisez le KF25 pince rapide pour la connexion port. . 2. système de détection de pression ZDR-I / ZDR-I-LED type vacuomètre à simple résistanceLa jauge de vide à résistance (également connue sous le nom de Pirani vacuomètre) utilise un ZJ-52T jauge de résistance et applique un nouveau mode de fonctionnement à température constante à la puissance constante. en même temps, le microprocesseur est utilisé pour contrôler la non-linéarité du règlement. traitement linéaire. il a les caractéristiques d'une performance stable, d'une large plage de mesure, d'une réponse rapide et d'une petite dérive. Et puissant et fiable à base de microprocesseur commande de relais, sortie de communication série, sortie analogique de vide et autres fonctions. particulièrement adapté à la mesure de vide grossier et faible et au contrôle des applications de vide. technique Paramètres: * distribution réglementation: ZJ-52T jauge de résistance * mesure plage: 10 5 ～ 10 -1 Pennsylvanie * nombre de mesures: 1 voie * nombre de canaux de contrôle: 2 routes peuvent être étendues à 4 ou 8 routes * contrôle plage: 5 × 10 3 ~ 5 × 10 -1 Pennsylvanie * contrôle mode: sortie contact relais, capacité de charge AC220V / 3A (ou DC28V / 3A) non inductif charge * Puissance: 90-260V / 50Hz ou 220V ± 10% 50Hz * puissance consommation: 25W * Poids: 4Kg / 3Kg / 0,5Kg (en fonction du châssis) * châssis taille: 240 × 88 × 280 ou 265 × 119 × 280 ou 96 × 96 × 120 480 × 88 × 280 ou 480 × 119 × 280 (largeur × hauteur × profondeur) performances caractéristiques: * LED écran vert numérique affichage. * large éventail d'enquêtes étoiles * vitesse de réponse rapide * correction du micro-ordinateur régule la non-linéarité et réduit les erreurs de mesure. * isolation optique, filtrage numérique, amélioré anti-interférence capacité. * panneau de couleur pvc, belle apparence. * contrôle de point ou sortie de contrôle de relais de zone, tandis que le point de consigne a power-down mémoire de protection fonction. 3. adopter VRD16 pompe à vide VRD16 terme technique spécification VRD-16 pompage speedm³ / h （L / s） 50Hz 16 m³ / h 4,4 L / s 60Hz 19,2 m³ / h 5.2 L / s limite de pression partielle - pas de gaz ballast （Pa） 4x10-2 limite de pression totale - pas de gaz ballast （Pa） 4x10-1 limitation de la pression totale - gaz ballast （Pa） 8x10-1 source de courant monophasé / trois phasemoteur puissance （KW） 0,75 KW / 0,55 kw Entrée / sortie connectionDN KF25 capacité d'huile 0,9-1,5 lmoteur vitesse （rpm） 50Hz 1440 tr / min 1 standard exporté package: interne anticollision protection, boîte en bois d'exportation externe emballage.2 expédition par express, par air, par mer selon clients conditions requises pour trouver le chemin le plus approprié. 3 responsable des dommages pendant le processus d'expédition, changera la partie endommagée pour vous gratuitement.

alimentation rf pour PECVD Le PECVD Le système se compose d'un four tubulaire, d'une chambre à vide en quartz, d'un système de vide, d'un système d'alimentation en gaz et d'un système d'alimentation à radiofréquence. principalement utilisé pour: croissance de films minces métalliques, de films minces céramiques, de films minces composites, de graphène, etc. il est facile d'ajouter des fonctions et peut étendre des fonctions telles que le nettoyage au plasma et la gravure. Le PECVD Le système présente les avantages d'un taux de dépôt de film élevé, d'une bonne uniformité, d'une consistance élevée et d'une stabilité principaux paramètres techniques de l'alimentation rf plage de puissance de sortie 0-500W puissance réfléchie maximale 200W fréquence de travail RF: 13,56 MHZ ± 0,005% stabilité de puissance + / -0,1% composante harmonique ≤-50dbc largeur de la région rf 0-600mm réglable manière correspondante automatique mode de refroidissement points de froid bruit

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